»ï¼ºÀüÀÚ°¡ ¹ÝµµÃ¼ ÆÄ¿îµå¸® ·Îµå¸Ê¿¡ 11³ª³ë(nm) ½Å±Ô °øÁ¤À» Ãß°¡Çß´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â 11ÀÏ º¸µµÀڷḦ ÅëÇØ ÆÄ¿îµå¸® ÷´Ü °øÁ¤ ·Îµå¸Ê¿¡ 11³ª³ë ½Å±Ô °øÁ¤(11LPP, Low Power Plus)À» Ãß°¡Çϸç ÇÑÃþ °ÈµÈ Æ÷Æ®Æú¸®¿À¸¦ ¼±º¸ÀÎ´Ù°í ¹àÇû´Ù.
11LPP´Â ±âÁ¸ÀÇ »ï¼ºÀüÀÚ 14³ª³ë °øÁ¤ ¾ÈÀü¼º°ú ¼³°è ȯ°æÀ» ±â¹ÝÀ¸·Î ÇÑ °øÁ¤À¸·Î, 14LPP¿Í ºñ±³ÇØ µ¿ÀÏÇÑ ¼ÒºñÀü·Â¿¡¼ ¼º´ÉÀº ÃÖ´ë 15% Çâ»óµÇ°í Ĩ ¸éÀûÀº ÃÖ´ë 10%±îÁö ÁÙÀÏ ¼ö ÀÖ´Â °ÍÀÌ Æ¯Â¡ÀÌ´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â À̹ø 11³ª³ë °øÁ¤ Ãß°¡¸¦ ÅëÇØ Ç÷¡±×½Ê ½º¸¶Æ®Æù¿ë 10³ª³ë ÇÁ·Î¼¼¼ ½ÃÀå »Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó Áö¼ÓÀûÀ¸·Î ¼ºÀåÇϰí ÀÖ´Â Áß°í±Þ ½º¸¶Æ®Æù¿ë ÇÁ·Î¼¼¼ ½ÃÀå¿¡¼µµ °í°´µé¿¡°Ô Â÷º°ÈµÈ °¡Ä¡¸¦ Á¦°øÇÒ °èȹÀ̶ó°í ¹àÇû´Ù.
ÇöÀç »ï¼ºÀüÀÚ´Â 10³ª³ë 1¼¼´ë FinFET °øÁ¤(10LPE)À» ÅëÇØ ¿ÃÇØ Ãâ½ÃµÈ Ç÷¡±×½Ê ½º¸¶Æ®Æù¿ë ¸ð¹ÙÀÏ ÇÁ·Î¼¼¼ ¿¢½Ã³ë½º 8895 ¹× Ä÷ÄÄ ½º³Àµå·¡°ï 835 Ĩ¼ÂÀ» ¾ç»ê ÁßÀ̸ç, 2¼¼´ë °øÁ¤ÀÎ 10LPP °³¹ßÀ» ¿Ï·áÇÏ°í ³»³â¿¡´Â 3¼¼´ë 10nm °øÁ¤(10LPU) °øÁ¤ ¾ç»ê±îÁöµµ °èȹ ÁßÀÌ´Ù. ¶ÇÇÑ ÀÌ¹Ì 10nm ÀÌÈÄ °øÁ¤ ±â¼úÀÎ 8nm¿Í 7nm, 6nm, 5nm, 4nm±îÁö Â÷¼¼´ë ÆÄ¿îµå¸® ·Îµå¸ÊÀ» ¹ßÇ¥Çß´Ù.
±×·¯³ª 14nm °øÁ¤À¸·Î »ý»êµÇ´Â ´ëºÎºÐÀÇ Áߺ¸±ÞÇü ¸ð¹ÙÀÏ ÇÁ·Î¼¼¼ ¹°·®À» ´ëüÇϱâ À§ÇØ 14LPPÀÇ ÆÄ»ý °øÁ¤ÀÎ 11nm LPP¸¦ ½Å±Ô µµÀÔÇÑ °ÍÀ¸·Î º¸À̴µ¥, 11LPP °øÁ¤¿¡¼´Â Ĩ ¸éÀûÀÌ 10% ÁÙ¾îµé¸é¼ ¿þÀÌÆÛ´ç Ĩ¼Â »ý»ê·®µµ ´õ ´Ã¾î³¯ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÇ°í ÀÖ´Ù. 11LPP °øÁ¤Àº ³»³â »ó¹Ý±âºÎÅÍ »ý»ê¿¡ µé¾î°¥ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
¶ÇÇÑ »ï¼ºÀüÀÚ´Â ¾÷°è ÃÖÃÊ EUV (Extreme Ultra Violet) ±â¼úÀ» Àû¿ëÇÑ 7nm °øÁ¤À» ³»³Æ ÇϹݱ⠻ý»ê Âø¼ö¸¦ ¸ñÇ¥·Î ¼øÁ¶·Ó°Ô °³¹ßÇϰí ÀÖ´Ù°í ¹àÇû´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ ÆÄ¿îµå¸® 8nm °øÁ¤(8LPP)ÀÌ EUV ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ·Î ÀüȯÇϱâ Àü ¸¶Áö¸· °øÁ¤ ±â¼úÀÎ ¸¸Å 7nmºÎÅÍ´Â EUV ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ¼Ö·ç¼ÇÀ» »ç¿ëÇÏ°Ô µÈ´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â 7³ª³ë EUV °øÁ¤ °³¹ßÀ» À§ÇØ EUV¸¦ Àû¿ëÇÑ ¿þÀÌÆÛ°¡ 2014³âºÎÅÍ ¾à 20¸¸Àå¿¡ À̸£¸ç, Áö±Ý±îÁö ÃàÀûµÈ °æÇèÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î ÆÄ¿îµå¸® °øÁ¤ ¾ç»ê ¿Ï¼ºµµ¸¦ ³ªÅ¸³»´Â ôµµÀÎ SRAM(256Mb)ÀÇ ¼öÀ² 80%¸¦ È®º¸ÇÏ´Â µî °¡½ÃÀûÀÎ ¼º°ú¸¦ °ÅµÎ°í ÀÖ´Ù°í ¼³¸íÇß´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â Áö³ 5¿ù ÆÄ¿îµå¸® »ç¾÷ºÎ Ãâ¹ü ÀÌÈÄ ¹Ì±¹(5¿ù)°ú Çѱ¹(7¿ù)¿¡¼ ÆÄ¿îµå¸® Æ÷·³À» °³ÃÖÇØ ±Û·Î¹ú °í°´°ú ÆÄÆ®³Ê»ç¸¦ ´ë»óÀ¸·Î ÷´Ü °øÁ¤ ·Îµå¸ÊÀ» °øÀ¯ÇÑ ¹Ù ÀÖÀ¸¸ç([°ü·Ã±â»ç] »ï¼ºÀüÀÚ, 4nm °øÁ¤±îÁö Â÷¼¼´ë ÆÄ¿îµå¸® ·Îµå¸Ê ¹ßÇ¥), ÀÌ´Þ 15ÀÏ¿¡´Â ÀϺ» µµÄì¿¡¼ »ï¼º ÆÄ¿îµå¸® Æ÷·³À» ¿¾î ±âÁ¸ °øÁ¤ ·Îµå¸Ê°ú ÇÔ²² Ãß°¡µÈ 11³ª³ë °øÁ¤°ú 7³ª³ë °³¹ßÇöȲÀ» ¹ßÇ¥ÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. |