ÀÎÅÚÀº »õ·Î¿î ¾çÀÚ ¿¬±¸ ĨÀ¸·Î 12Å¥ºñÆ® ½Ç¸®ÄÜ Ä¨ÀÎ ÅͳΠÆú½º(Tunnel Falls)¸¦ °ø°³ÇÏ°í ¾çÀÚ ¿¬±¸ Ä¿¹Â´ÏƼ¿¡ Á¦°øÇÑ´Ù°í ¹ßÇ¥Çß´Ù. ¶ÇÇÑ ÀÎÅÚÀº ¾çÀÚ ÄÄÇ»Æà ¿¬±¸ ¹ßÀüÀ» À§ÇØ ±¹°¡ Â÷¿øÀÇ ¾çÀÚ Á¤º¸ °úÇÐ(QIS) ¿¬±¸ ¼¾ÅÍÀÎ ¸Þ¸±·£µå ´ëÇб³ Ä®¸®Áö ÆÄÅ© Å¥ºñÆ® °øµ¿ ¿¬±¸¼Ò(LQC)ÀÇ ¹°¸® °úÇÐ ¿¬±¸¼Ò(LPS)¿Í Çù·ÂÇÑ´Ù°í ¹àÇû´Ù.
ÇöÀç Çмú ±â°üÀº ÀÎÅÚ°ú °°Àº ´ë·® Á¦Á¶ Á¦ÀÛ Àåºñ¸¦ º¸À¯ÇÏ°í ÀÖÁö ¾Ê´Ù. ¿¬±¸ÁøÀº ÅͳΠÆú½º·Î ÀÚüÀûÀ¸·Î ÀåÄ¡¸¦ Á¦ÀÛÇÏ´Â ½Ã°£À» Àý¾àÇÏ°í Áï½Ã ½ÇÇè°ú ¿¬±¸¿¡ Âø¼öÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. À̸¦ ÅëÇØ Å¥ºñÆ® ¹× ¾çÀÚÁ¡¿¡ ´ëÇÑ ±âº» ¿ø¸®¸¦ ´õ ±íÀÌ ¿¬±¸ÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç, ´ÙÁß Å¥ºñÆ®¸¦ °®Ãá ÀåÄ¡·Î »õ·Î¿î ±â¼ú °³¹ßÀ» Æ÷ÇÔÇÑ ´õ Æø³ÐÀº ½ÇÇè¿¡ ¸ÅÁøÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
À̸¦ À§ÇØ ÀÎÅÚÀº ÄÄÇ»Æà ÆÄ¿îµå¸®¿ë Å¥ºñÆ®(QCF) ÇÁ·Î±×·¥ÀÇ ÀÏȯÀ¸·Î ¹Ì À°±º ¿¬±¸¼Ò¸¦ ÅëÇØ LQC¿Í Çù¾÷ÇØ ÀÎÅÚÀÇ »õ·Î¿î ¾çÀÚ Ä¨À» ¿¬±¸ ½ÇÇè½Ç¿¡ Á¦°øÇÏ°í ÀÖ´Ù. LQC¿ÍÀÇ Çù·ÂÀ» ÅëÇØ ¿¬±¸ÁøÀº ½ºÇÉ Å¥ºñÆ®ÀÇ È®ÀåµÈ ¾î·¹ÀÌ¿Í ÇÔ²² ½ÇÁ¦ ÀÛ¾÷ °æÇèÀ» ½×À» ¼ö ÀÖ¾î, ½Ç¸®ÄÜ ½ºÇÉ Å¥ºñÆ®ÀÇ ´ëÁßȸ¦ À̲ø °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÈ´Ù. ÇØ´ç ÇÁ·ÎÁ§Æ®´Â Àη °³¹ßÀ» °ÈÇÏ°í »õ·Î¿î ¾çÀÚ ¿¬±¸ÀÇ °¡´É¼ºÀ» ¿¸ç, Àü¹ÝÀûÀÎ ¾çÀÚ »ýÅ°踦 È®´ëÇÏ´Â °ÍÀ» ¸ñÇ¥·Î ÇÑ´Ù.
ÇÁ·Î±×·¥¿¡ Âü¿©ÇÑ ÃÖÃÊ ¾çÀÚ ¿¬±¸¼Ò·Î´Â LPS, »÷µð¾Æ ±¹¸³ ¿¬±¸¼Ò, ·Îü½ºÅÍ ´ëÇб³, À§½ºÄܽÅ-¸Þµð½¼ ´ëÇб³°¡ ÀÖ´Ù. LQC´Â ÀÎÅÚ°ú Çù¾÷ÇØ ´õ ¸¹Àº ´ëÇаú ¿¬±¸¼Ò°¡ ÅͳΠÆú½º¸¦ ÀÌ¿ëÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ³ë·ÂÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. ½ÇÇè¿¡¼ ¼öÁýµÈ Á¤º¸´Â Ä¿¹Â´ÏƼ¿¡ °øÀ¯µÅ ¾çÀÚ ¿¬±¸¸¦ ¹ßÀü½ÃÅ°°í ÀÎÅÚÀÌ Å¥ºñÆ® ¼º´É°ú È®À强À» °³¼±ÇÏ´Â µ¥ µµ¿òÀÌ µÉ °ÍÀÌ´Ù.
ÅͳΠÆú½º¿¡ ´ëÇÏ¿©: ÅͳΠÆú½º´Â ÀÎÅÚÀÌ ¿¬±¸ Ä¿¹Â´ÏƼ¿¡ °ø°³ÇÑ ÃÖÃÊÀÇ ½Ç¸®ÄÜ ½ºÇÉ Å¥ºñÆ® µð¹ÙÀ̽º´Ù. D1 Á¦Á¶ ½Ã¼³ÀÇ 300¹Ð¸®¹ÌÅÍ ¿þÀÌÆÛ¿¡¼ Á¦Á¶µÈ ÀÌ 12Å¥ºñÆ® ¼ÒÀÚ´Â ±ØÀڿܼ±(EUV), °ÔÀÌÆ® ¹× Á¢ÃË Ã³¸® ±â¼ú µî ÀÎÅÚÀÇ ÃÖ÷´Ü Æ®·£Áö½ºÅÍ »ê¾÷ Á¦Á¶ ¿ª·®À» È°¿ëÇÑ´Ù. ½Ç¸®ÄÜ ½ºÇÉ Å¥ºñÆ®¿¡¼ Á¤º¸(0/1)´Â ´ÜÀÏ ÀüÀÚÀÇ ½ºÇÉ(À§/¾Æ·¡)¿¡ ÀÎÄÚµùµÈ´Ù. °¢ Å¥ºñÆ® ÀåÄ¡´Â º»ÁúÀûÀ¸·Î ´ÜÀÏ ÀüÀÚ Æ®·£Áö½ºÅÍÀ̹ǷΠÀÎÅÚÀº Ç¥ÁØ »óº¸Çü ±Ý¼Ó »êȹ° ¹ÝµµÃ¼(CMOS) ³í¸® °øÁ¤ ¶óÀο¡¼ »ç¿ëµÇ´Â °Í°ú À¯»çÇÑ È帧À» »ç¿ëÇÏ¿© À̸¦ Á¦Á¶ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
ÀÎÅÚÀº ½Ç¸®ÄÜ ½ºÇÉ Å¥ºñÆ®°¡ ÃÖ÷´Ü Æ®·£Áö½ºÅÍ¿ÍÀÇ ½Ã³ÊÁö È¿°ú·Î ÀÎÇØ ´Ù¸¥ Å¥ºñÆ® ±â¼úº¸´Ù ¿ì¼öÇÏ´Ù°í ¹Ï´Â´Ù. Æ®·£Áö½ºÅÍ Å©±âÀÎ ½Ç¸®ÄÜ ½ºÇÉ Å¥ºñÆ®´Â ¾à 50³ª³ë¹ÌÅÍ Á¤»ç°¢ÇüÀÇ ´Ù¸¥ Å¥ºñÆ® À¯Çüº¸´Ù ÃÖ´ë ¹é¸¸ ¹è À۱⠶§¹®¿¡ È¿À²ÀûÀ¸·Î È®ÀåÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
µ¿½Ã¿¡ ÀÎÅÚÀÌ Ã·´Ü CMOS Á¦Á¶ ¶óÀÎÀ» È°¿ëÇϸé Çõ½ÅÀûÀÎ °øÁ¤ Á¦¾î ±â¼úÀ» »ç¿ëÇØ ¼öÀ²°ú ¼º´ÉÀ» ±¸ÇöÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ¿¹¸¦ µé¾î, ÅͳΠÆú½º 12Å¥ºñÆ® µð¹ÙÀ̽º´Â ¿þÀÌÆÛ Àüü¿¡ °ÉÃÄ 95%ÀÇ ¼öÀ²°ú CMOS ³í¸® °øÁ¤°ú À¯»çÇÑ Àü¾Ð ±ÕÀϼºÀ» Á¦°øÇϸç, °¢ ¿þÀÌÆÛ´Â 24,000°³ ÀÌ»óÀÇ ÄöÅÒ´å µð¹ÙÀ̽º¸¦ Á¦°øÇÑ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ 12-µµÆ® ĨÀº ´ëÇÐÀ̳ª ¿¬±¸¼ÒÀÇ ½Ã½ºÅÛ ¿î¿µ ¹æ½Ä¿¡ µû¶ó 4~12°³ÀÇ Å¥ºñÆ®¸¦ Çü¼ºÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç, À̸¦ ºÐ¸®ÇÏ¿© µ¿½Ã¿¡ ¿¬»ê¿¡ »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
ÀÎÅÚÀº ÅͳΠÆú½ºÀÇ ¼º´ÉÀ» °³¼±ÇÏ°í ÀÎÅÚ ÄöÅÒ ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾î °³¹ß Å°Æ®(SDK)¸¦ ÅëÇØ Àüü ÄöÅÒ ½ºÅÿ¡ ÅëÇÕÇϱâ À§ÇØ Áö¼ÓÀûÀ¸·Î ³ë·ÂÇÒ °ÍÀÌ´Ù. ÀÎÅÚÀº ÅͳΠÆú½º¸¦ ±â¹ÝÀ¸·Î ÇÑ Â÷¼¼´ë ¾çÀÚ Ä¨À» °³¹ß ÁßÀ̸ç 2024³â¿¡ °ø°³ÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. ÇâÈÄ ÀÎÅÚÀº Àü ¼¼°è ´õ ¸¹Àº ¿¬±¸ ±â°ü°ú Çù·ÂÇÏ¿© ¾çÀÚ »ýÅ°踦 ±¸ÃàÇÒ °èȹÀÌ´Ù. |