ASMÀÌ ¿À´Â 19ÀϺÎÅÍ 3ÀÏ°£ ¼¿ï ÄÚ¿¢½º¿¡¼ ¿¸®´Â ¼¼¹ÌÄÜ ÄÚ¸®¾Æ 2025¿¡ Âü°¡ÇÑ´Ù.
ASMÀº ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¿¡ ÇʼöÀûÀÎ ¿øÀÚÃþ ÁõÂø(ALD) Àåºñ ¹× °øÁ¤ ¼Ö·ç¼ÇÀ» °ø±ÞÇÏ´Â ±â¾÷À¸·Î¼, °¡Àå ±¤¹üÀ§ÇÑ ALD Á¦Ç° ¹× ¾ÖÇø®ÄÉÀÌ¼Ç Æ÷Æ®Æú¸®¿À¿Í ¾à 2,900°³¿¡ ´ÞÇÏ´Â ±â¼ú ƯÇ㸦 º¸À¯ÇÏ°í ÀÖ´Ù. ASMÀÌ º¸À¯ÇÑ ÃÖ°í ¼öÁØÀÇ ALD ±â¼úÀº ¶Ù¾î³ Á¦¾î ±â¼ú·Î ¾ÆÁÖ ¾ã°í ±ÕÀÏÇÑ °íÇ°ÁúÀÇ ¹Ú¸·À» ÁõÂøÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ÀÌÁ¡À» Á¦°øÇÑ´Ù. ASMÀº ÁõÂø ÀåºñµéÀ» ¼³°è, Á¦Á¶, ÆǸŠ¹× ¼ºñ½ºÇÏ¸ç ¼¼°è À¯¼öÀÇ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶»çµéÀ» °í°´À¸·Î È®º¸ÇÏ°í ÀÖ´Ù.
ASMÀº 1989³â Çѱ¹¿¡¼ óÀ½ ºñÁî´Ï½º¸¦ ½ÃÀÛÇÑ ÀÌ·¡·Î ±¹³» »ç¾÷ ¼ºÀå°ú ÇÔ²² ÀÎÀç ¹ß±¼¿¡ Àû±ØÀûÀÎ ÅõÀÚ¸¦ À̾î¿Ô´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ÅõÀÚ¸¦ ¹ÙÅÁÀ¸·Î Çѱ¹Àº 2³ª³ë¹ÌÅÍ °ÔÀÌÆ®¿Ã¾î¶ó¿îµå(GAA) Á¦Ç°°ú °°Àº ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ Á¦ÀÛ¿¡ ÇʼöÀûÀÎ °¸ÇÊ(Gap-fill) ±â¼úÀ» Æ÷ÇÔ, ÇöóÁ ¿øÀÚÃþ ÁõÂø(PEALD) ¼Ö·ç¼ÇÀÇ ±Û·Î¹ú ¿¬±¸°³¹ß ¼¾ÅÍ·Î °Åµì³µ´Ù.
¿ÃÇØ ¿Ï°øÀ» ¾ÕµÎ°í Àִ ȼº Á¦2Á¦Á¶¿¬±¸Çõ½Å¼¾Åʹ Ŭ¸°·ëÀ» Æ÷ÇÔÇØ ±âÁ¸ ´ëºñ µÎ ¹è ÀÌ»óÀÇ R&D °ø°£°ú ¼¼ ¹è ÀÌ»ó Áõ´ëµÈ Á¦Á¶ ¿ª·®À» ¹ÙÅÁÀ¸·Î, ½Å±Ô ÀÏÀÚ¸® âÃâÀ» ÅëÇÑ Áö¿ª°æÁ¦ È°¼ºÈ¿¡ ±â¿©ÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù.
ÀÌ·¯ÇÑ ½Ã¼³ È®Àå¿¡ ¹ß¸ÂÃç ASMÀº Àû±ØÀûÀÎ ÀÎÀç ¿µÀÔ°ú µ¿½Ã¿¡ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷¿¡¼ Ä¿¸®¾î °³¹ßÀ» ¿øÇÏ´Â Çлý ¹× ±¸Á÷ÀÚµéÀ» À§ÇØ À̹ø Çà»ç±â°£ µ¿¾È ¸®Å©·çÆà ¼¼¼ÇÀ» ÁøÇàÇÑ´Ù. Àü½Ã ±â°£ µ¿¾È ASM ºÎ½º(D722)¿¡¼ ÇÏ·ç 4ȸ(10:00, 11:00, 14:00, 15:00½Ã) ÁøÇàµÇ´Â ÇØ´ç ¸®Å©·çÆà ¼¼¼Ç¿¡¼´Â ASMÄÚ¸®¾Æ ÇöÁ÷ÀÚ¿¡°Ô Á÷Á¢ ÀÚ¼¼ÇÑ ASM¿¡¼ÀÇ Ã¤¿ë ±âȸ¿¡ ´ëÇÑ Á¤º¸ ¹× Á÷¹«ÄÁ¼³ÆÃÀ» ¹Þ¾Æº¼ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç, ÇöÀå¿¡¼ µî·Ï ÈÄ Âü¼® °¡´ÉÇÏ´Ù.
|