|
ÀÎÅÚ, 2009³â 32nm °øÁ¤ ±â¼ú »ó¿ëÈ Àü¸Á
¿¬¹æ´ëÃÑÅë[4±º´Ü]
Á¶È¸ :
1261 ,
2005/12/06 13:02 |
|
|
http://news.kbench.com
ÀÎÅÚÀÌ ¾ÕÀ¸·Î 2009³â¿¡ 32nm °øÁ¤ÀÇ ÇÁ·Î¼¼¼¸¦ Á¦Á¶ÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ̸ç ÇöÀç °èȹ´ë·Î ¼øÁ¶·Ó°Ô ÁøÇà ÁßÀ̶ó°í ¹àÇû´Ù.
ÀÎÅÚÀº A.G ¿¡µå¿öÁî ÄÄÇ»ÅÍ/¸¶ÀÌÅ©·ÎÇÁ·Î¼¼¼ ±â¼ú ÄÁÆÛ·±½º¿¡¼ ¾ÕÀ¸·Î Æ®·£Áö½ºÅÍ ¹Ì¼¼È ÀÛ¾÷ÀÌ Áö¼ÓÀûÀ¸·Î ÁøÇàµÉ °ÍÀ̸ç 2009³â¿¡´Â 32nm°øÁ¤ÀÇ ÇÁ·Î¼¼¼¸¦ Á¦Á¶ÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ̶ó°í ¹àÇû´Ù. ÇöÀç ÀÎÅÚÀº 90nm °øÁ¤ÀÇ ÇÁ·Î¼¼¼¸¦ ³»³õ°í ÀÖÀ¸¸ç ³»³âÃʺÎÅÍ º»°ÝÀûÀ¸·Î µ¥½ºÅ©Å¾°ú ¸ð¹ÙÀÏ ÇÁ·Î¼¼¼ ºÎºÐ¿¡¼ 65nm °øÁ¤ÀÇ ÇÁ·Î¼¼¼¸¦ Ãâ½ÃÇÒ °èȹÀÌ´Ù.
ÀÎÅÚÀº 32nm °øÁ¤¿¡¼ Æ®·£Áö½ºÅÍÀÇ Ãʹڸ· ±¸Á¶·Î ÀÎÇؼ Ư¼öÇÑ ÀͽºÆ®¸² Àڿܼ± ¸®Åä±×·¡ÇÇ(EUV) ±â¼úÀ» ÇÊ¿ä·Î ÇÑ´Ù°í ¹àÇû´Ù.
ÀÎÅÚÀº 2004³â ÃÊ¿¡ Â÷¼¼´ë ¸®Åä±×·¡ÇÇ ±â¼ú °³¹ßÀ» À§Çؼ ½ÎÀ̸Ó(Cymer)¶õ ¾÷ü¿¡ 2000¸¸ ´Þ·¯¸¦ ÅõÀÚÇÑ ¹Ù ÀÖÀ¸¸ç ÀÌ ¾÷ü´Â ¾ÕÀ¸·Î3³â°£ EUV ±¤¿ø °³¹ß¿¡ Àü³äÇÏ°Ô µÈ´Ù.
EUV ¸®Åä±×·¡ÇÇ ±â¼úÀº 2009³â º»°ÝÀûÀ¸·Î »ó¿ëÈ ±â¼ú·Î µµÀ﵃ ¿¹Á¤ÀÌÁö¸¸ ¿ª½Ã ¹Ì¼¼ °øÁ¤È·Î ÀÎÇؼ ³ôÀº Àåºñ °¡°Ý, ¾ç»ê ±â¼úµî ÇØ°áÇØ¾ß ÇÒ ±â¼úÀû °úÁ¦´Â »êÀçÇØ ÀÖ´Ù.
|
|
|
|