ÀÎÅÚÀº 2023±¹Á¦ÀüÀÚ¼ÒÀÚÇÐȸ(IEDM)¿¡¼ ¹Ì·¡ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ ·Îµå¸ÊÀ» Áö¿øÇÒ È¹±âÀûÀÎ Æ®·£Áö½ºÅÍ È®Àå ±â¼ú ¹× ¿¬±¸°³¹ß(R&D) ¼º°ú¸¦ ¹ßÇ¥Çß´Ù.
ÀÎÅÚÀÌ ¹ßÇ¥ÇÑ ³»¿ëÀº ¹«¾îÀÇ ¹ýÄ¢À» À̾±â À§ÇØ Áö³ 2021³â 7¿ù ¹ßÇ¥ÇÑ ¸®º¿Æê(RibbonFET)°ú ÆÄ¿öºñ¾Æ(PowerVia) ±â¼úÀÇ ÁøÀü »çÇ×À¸·Î, ÀÌ ÀÚ¸®¿¡¼ ½Ç¸®ÄÜ Æ®·£Áö½ºÅÍ¿Í ÁúÈ°¥·ý(GaN) Æ®·£Áö½ºÅ͸¦ ÆÐŰ¡ÀÌ ¾Æ´Ñ µ¿ÀÏÇÑ 300mm ¿þÀÌÆÛ »ó¿¡¼ ´ë±Ô¸ð 3D ¸ð³î¸®½Ä ¹æ½ÄÀ¸·Î ÅëÇÕÇÒ ¼ö ÀÖÀ½À» ¼±º¸¿´´Ù.
ÀÌ·Î½á ¹«¾îÀÇ ¹ýÄ¢À» À̾´Ù°í ¹àÇû´Ù. º» Çà»ç¿¡¼ ÀÎÅÚ ¿¬±¸ÁøÀº Èĸé Àü·Â °ø±Þ ±â¼ú°ú Èĸé Á÷Á¢ Á¢ÃË ±â¼úÀ» Àû¿ëÇÑ 3D ÀûÃþÇü »óº¸Çü ±Ý¼Ó »êȹ° ¹ÝµµÃ¼(CMOS)ÀÇ ÁøÀüÀ» °ø°³Çß´Ù. ¶ÇÇÑ, Èĸé Àü·Â °ø±ÞÀ» À§ÇÑ ÃÖ±ÙÀÇ R&D Çõ½ÅÀ» È®ÀåÇÏ´Â Èĸé Á¢ÃË ±â¼úÀ» ¹ßÇ¥Çß´Ù.
ÀÎÅÚ ÄÄÆ÷³ÍÆ® ¸®¼Ä¡ ±×·ìÀº ÀÎÅÚÀÇ ¹Ì·¡ Áö¼ÓÀûÀÎ Æ®·£Áö½ºÅÍ È®ÀåÀ» À§ÇÑ Çõ½Å ±â¼úÀÎ ÆÄ¿öºñ¾Æ(PowerVia) Èĸé Àü·Â °ø±Þ ±â¼ú, ÷´Ü ÆÐŰ¡À» À§ÇÑ À¯¸® ±âÆÇ ¹× Æ÷º£·Î½º ´ÙÀÌ·ºÆ®(Foveros Direct) µîÀ» Áß½ÉÀ¸·Î ÀÎÅÚ °øÁ¤ ±â¼ú ·Îµå¸ÊÀ» ¹ßÇ¥ÇßÀ¸¸ç, ÇØ´ç °øÁ¤Àº 10³â ¾È¿¡ ¾ç»êÀÌ ½ÃÀÛµÉ °ÍÀ¸·Î ¿¹»ó ÁßÀÌ´Ù.
ÀÎÅÚÀÌ ¹ßÇ¥ÇÑ ÃֽŠƮ·£Áö½ºÅÍ °ü·Ã ¿¬±¸ °á°ú´Â ¾÷°è ÃÖÃÊ·Î °ÔÀÌÆ® ÇÇÄ¡¸¦ 60nm±îÁö °¨¼Ò½ÃŲ »óº¸ÇüÀü°èÈ¿°úÆ®·£Áö½ºÅÍ(CFET)¸¦ ¼öÁ÷À¸·Î ½×¾Æ ¿Ã·Á °ø°£ È¿À²¼ºÀ» Å©°Ô ³ôÀÌ°í ¼º´ÉÀ» Çâ»ó ½ÃŲ´Ù. »Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó, º» ÀûÃþÇü CFET´Â Èĸé Àü·Â °ø±Þ ±â¼ú°ú Èĸé Á÷Á¢ Á¢ÃË ±â¼úÀ» °áÇÕÇÑ´Ù.
ÀÌ´Â ÀÎÅÚÀÇ °ÔÀÌÆ®¿Ã¾î¶ó¿îµå(GAA) Æ®·£Áö½ºÅÍ ¸®´õ½ÊÀ» °Á¶ÇÔÀº ¹°·Ð ¸®º»Æê(RibbonFET) ÀÌÈÄÀÇ Çõ½Å ¿ª·®°ú, °æÀï¿ìÀ§¸¦ ÀÔÁõÇϱ⵵ ÇÑ´Ù.
2024³âºÎÅÍ ¾ç»ê¿¡ µ¹ÀÔÇÏ´Â ÀÎÅÚ ÆÄ¿öºñ¾Æ´Â ÃÖÃÊÀÇ Èĸé Àü·Â °ø±Þ ¼Ö·ç¼ÇÀ¸·Î, ÀÎÅÚÀº ÀÌ¿Í ´õºÒ¾î Æ®·£Áö½ºÅ͸¦ °ø°£ È¿À²ÀûÀÎ ¹æ½ÄÀ¸·Î ÀûÃþÇϱâ À§Çؼ´Â Èĸé Á¢ÃË°ú »õ·Î¿î ¼öÁ÷Àû »óÈ£ ¿¬°á ±â¼úÀ» È°¿ëÇØ¾ß ÇÑ´Ù´Â Á¡À» °Á¶Çß´Ù.
ÀÎÅÚÀº ¾÷°è ÃÖÃÊ·Î ½Ç¸®ÄÜ Æ®·£Áö½ºÅÍ¿Í ÁúÈ°¥·ý(GaN) Æ®·£Áö½ºÅ͸¦ ÅëÇÕÇÑ 300mm ¿þÀÌÆÛ(GaN-on-silicon)¿Í ÇÔ²² Àü·Â °ø±ÞÀ» À§ÇÑ °í¼º´ÉÀÇ ´ë±Ô¸ð Á÷Á¢ ȸ·Î ¼Ö·ç¼ÇÀÎ 'DrGaN'µµ ½Ã¿¬Çϸç, À̸¦ ÅëÇØ ¹Ì·¡ ÄÄÇ»ÆÃÀÇ ³ôÀº Àü·Â ¹Ðµµ ¹× È¿À²¼º ¿ä±¸»çÇ׿¡ ¸ÂÃç Àü·Â °ø±Þ ¼Ö·ç¼ÇÀ» ±¸ÇöÇÒ ÀáÀç·ÂÀ» Áö´Ï°í ÀÖ´Ù°í ¼Ò°³Çß´Ù.
ÀÎÅÚÀº ÀÌ¿Í ÇÔ²² Æ®·£Áö½ºÅÍÀÇ ¹°¸®Àû °ÔÀÌÆ® ÆøÀ» 10nm ¹Ì¸¸À¸·Î ÁÙÀ̱â À§ÇÑ ÀüÀ̱ݼÓÄ®ÄÚ°Õȹ°(TMD) 2D ä³Î ¼ÒÀç, CMOSÀÇ ÇÙ½É ¿ä¼ÒÀÎ NMOS(N-ä³Î ±Ý¼Ó »êȹ° ¹ÝµµÃ¼)¿Í PMOS(P-ä³Î ±Ý¼Ó »êȹ° ¹ÝµµÃ¼)¸¦ À§ÇÑ °íÀ̵¿¼º TMD Æ®·£Áö½ºÅÍÀÇ ÇÁ·ÎÅäŸÀÔÀ» ¼±º¸ÀδÙ. ¶ÇÇÑ, ¼¼°è ÃÖÃÊÀÇ GAA 2D TMD PMOS Æ®·£Áö½ºÅÍ¿Í ¼¼°è ÃÖÃÊÀÇ 300mm ¿þÀÌÆÛ »ó¿¡ Á¦ÀÛµÈ 2D PMOS Æ®·£Áö½ºÅ͵µ °ø°³ÇÑ´Ù.
ÀÎÅÚ ÄÄÆ÷³ÍÆ® ¸®¼Ä¡ ±×·ì ÃÑ°ý »êÁ¦ÀÌ ³ªÅ¸¶óÀÜ(Sanjay Natarajan)¼ö¼® ºÎ»çÀåÀº ¿Ë½ºÆ®·Ò ½Ã´ë¿¡ Á¢¾îµé¸ç '4³â ³» 5°³ ³ëµå ´Þ¼º' ÀÌ»óÀÇ °øÁ¤ ±â¼ú Ãß±¸¿¡ ²÷ÀÓ¾ø´Â Çõ½ÅÀÌ ±× ¾î´À ¶§º¸´Ù Áß¿äÇØÁ³´Ù¸ç, À̹ø ±â¼ú ¹ßÇ¥¿¡ ´ëÇØ Â÷¼¼´ë ³ëÆ®ºÏ¿ë ÄÄÇ»Æÿ¡ ´õ¿í È¿À²ÀûÀ¸·Î Àü·ÂÀ» °ø±ÞÇÏ°í Æ®·£Áö½ºÅ͸¦ È®ÀåÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ÃÖ÷´Ü ±â¼ú °³¹ß ¿ª·®À» °®Ãè´Ù°í Àǹ̸¦ ºÎ¿´´Ù. |