ÀÎÅÚÀÌ °ø°³ÇÑ ÆÄ¿îµå¸® ·Îµå¸Ê¿¡ µû¸£¸é 2024³â 20A¿Í 18A¿¡ À̾î 2027³â±îÁö 14A-E °øÁ¤À» µµÀÔÇÒ ¿¹Á¤Àε¥, ÀÌµé °øÁ¤ÀÇ °³¼± »çÇ׿¡ ´ëÇÑ ³»¿ëÀÌ °ø°³µÇ¾ú´Ù.
±¤ÇÐ ¹× Æ÷³ëƽ½º °ü·Ã ³»¿ëÀ» ´Ù·ç´Â SPIE 2024 ÄÁÆÛ·±½º¿¡¼ ÀÎÅÚ¼ö¼® ºÎ»çÀåÀÎ Anne Kelleher´Â 14A(1.4nm) °øÁ¤ÀÇ Àü¼ººñ´Â 18A(1.8nm) ´ëºñ 15% °³¼±µÇ¸ç, ±× ÀÌÈÄ ¹ßÇ¥µÉ 14A-E °øÁ¤Àº ÀϹÝÀûÀÎ A14 °øÁ¤ ´ëºñ 5% ¼º´É °³¼±À» ¸ñÇ¥·Î ÇÏ°í ÀÖ´Ù. ¶ÇÇÑ ÀÎÅÚÀÇ 14A °øÁ¤Àº ±ØÀڿܼ± Àåºñ(High-NA EUV)¸¦ ÃÖÃÊ·Î »ç¿ëÇÏ°Ô µÇ¸ç, 18A °øÁ¤¿¡ ´ëÇØ Æ®·£Áö½ºÅÍ ·ÎÁ÷ ¹Ðµµ°¡ 20% Áõ°¡ÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
ÀÎÅÚÀº IDM 2.0 Àü·«ÀÇ ÀÏȯÀ¸·Î 2030³â±îÁö »ï¼ºÀüÀÚ¸¦ Á¦Ä¡°í ¼±µµÀûÀÎ ÆÄ¿îµå¸® ¾÷°è·Î ¿Ã¶ó¼´Â °ÍÀ» ¸ñÇ¥·Î ÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, ÀüÅëÀûÀÎ Çù·Â °ü°è¿¡ ÀÖ´Â MS¿Í 18A °øÁ¤ Ĩ »ý»ê¿¡ ´ëÇÑ 150¾ï ´Þ·¯ ±Ô¸ðÀÇ °è¾àÀ» ü°áÇÑ °ÍÀÌ ¾Ë·ÁÁ³´Ù. |