ÇöÀç 450mm ¿þÀÌÆÛ¿Í EUV (Extreme Ultraviolet Lithography)´Â ¹ÝµµÃ¼ÀÇ 2°¡Áö ÁÖ¿äÇÑ ±â¼ú·Î ¾Ë·ÁÁ³Áö¸¸ °øÁ¤ Àüȯ°ú ÇÔ²² µµ´Þ ½Ã±â´Â ´À¸®°Ô ÁøÇàµÇ°í ÀÖ¾î ¾ÕÀ¸·Î ¼ö³âÀÌ ´õ ¼Ò¿äµÉ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óÇß´Ù.
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450mm ¿þÀÌÆÛÀÇ »ó¾÷ÀûÀÎ °ø°³´Â ¾ÆÁ÷ È®½ÇÄ¡ ¾ÊÀ¸¸ç ÀÎÅÚÀº ÀÌ¿¡ ´ëÇØ ¾ÕÀ¸·Î 10³â ³»¿¡ °¡´ÉÇÒ °ÍÀ¸·Î ¸ðÈ£ÇÑ Ç¥ÇöÀ» Çß´Ù. ¾÷°è´Â 2018³â¿¡ À̸£·¯¾ß °¡´ÉÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹ÃøÇß´Ù.
ÀÎÅÚ °³¹ß °èȹ¿¡ ¸ÂÃ߾¸é 2014³â¿¡´Â 14nm, 2016³â¿¡´Â 10nm, 2018³âÀº 7nm µµÀÔÀÌ ¿¹»óµÇ´Âµ¥ ¾÷°è´Â ÀÎÅÚ¿¡ »õ·Î¿î ¿þÀÌÆÛ¿¡ ´ëÇØ ÀÚ¼¼ÇÑ ³»¿ëÀ» °ø°³ÇÏÁö ¾Ê°í ÀÖÀ¸³ª 10nm¿¡¼ 450mm ¿þÀÌÆÛ´Â ºÒ°¡´ÉÇØ º¸ÀÌ¸ç »¡¶ó¾ß 7nm¿¡¼ µµÀÔÀÌ °¡´ÉÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óÇß´Ù.
ÀÌ·¸°Ô ´Ê¾îÁö´Â ÀÌÀ¯¿¡ ´ëÇØ¼´Â ±â¼ú°ú ÀÚº», Çù·Â¿¡ ¸ðµÎ ¿µÇâÀÌ ÀÖÀ» °ÍÀ̶ó°í ÀüÇß´Ù. EUVL ±â¼úÀº ¾à°£ ³ª¾ÆÁ³À¸³ª ASMLÀº »ó¾÷È ½Ã±â¸¦ 2015³â, ÀÎÅÚÀº 10nm¿¡¼ °¡´ÉÇϱ⸦ Èñ¸ÁÇϰí ÀÖÀ¸³ª ½ÇÇöÀº ½±Áö ¾ÊÀ» °ÍÀ¸·Î ³»´ÙºÃ´Ù.
ÇÑÆí 450mm ¿þÀÌÆÛ´Â ÇöÀç ÁÖ·ÂÀÎ 300mm ¿þÀÌÆÛ ´ëºñ ¸éÀûÀº 125%, Å©±â´Â 50% Áõ°¡, »ý»ê·®Àº 2¹è ÀÌ»óÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù. ÇÏÁö¸¸ ¿¬±¸°³¹ß¿¡ ¸¹Àº ºñ¿ë ¼Ò¿ä, ±â¼úÀûÀÎ ¾î·Á¿òÀÌ ÀÖÀ¸¸ç ASMLÀº 2018³â ¼º¼÷ ´Ü°è·Î Á¢¾îµé °ÍÀ¸·Î º¸°í ÀÖ´Ù. TSMC¿Í ÀÎÅÚÀº 2017³âºÎÅÍ 450mm ¿þÀÌÆÛ »ý»êÀ» °èȹÇϰí ÀÖ´Â °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁø ¹Ù ÀÖ´Ù. |