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2022-04-22 11:09
ÀÌ»óÈ£ ±âÀÚ ghostlee@bodnara.co.kr

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¼¼°è ÃÖ´ë ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¿ë ³ë±¤ Àåºñ ¾÷üÀÎ ASMLÀº ½ÇÀû ¹ßÇ¥¼­ ¿ÃÇØ DUV(Deep UltraVioloet) ÁÖ¹®·®ÀÇ 60%¸¸ °ø±Þ °¡´ÉÇÒ °Í¸ç, ³»³â¿¡µµ ¼ö¿ä°¡ °ø±ÞÀ» ÃÊ°úÇÏ´Â »óȲÀÌ °è¼ÓµÉ °ÍÀ̶ó´Â Àü¸ÁÀ» ³»³ù´Ù.

ASMLÀº 2022³â µ¿¾È EUV(Extreme UltraViolet) Àåºñ 55°³¿Í DUV Àåºñ 240°³ »ý»êÀ» °èȹ ÁßÀÌÁö¸¸, ÀÌÁß DUV ÁÖ¹®·®Àº 500°³°¡ ³ÑÀº »óŶó ÁÖ¹® ÈÄ ¼ö·É±îÁö °É¸®´Â ¸®µå ŸÀÓ(lead time)ÀÌ 2³âÀ» »óȸÇÑ´Ù.

ÆøÁõÇÏ´Â ¼ö¿ä¿¡ ´ëºñÄÚÀÚ, ASMLÀº DUV Àåºñ »ý»ê·®À» ÇöÀç ¿¬ 240´ë¿¡¼­ 2025³â±îÁö µÎ ¹è ÀÌ»ó ¸¹Àº ¿¬°£ 600´ë±îÁö ²ø¾î¿Ã¸°´Ù´Â ¹æħÀÌ´Ù. EUV Àåºñµµ ±×º¸´Ù´Â ÀûÁö¸¸ 0.33NA ½Ã½ºÅÛÀº ¿¬°£ 90´ë, 0.55NA ½Ã½ºÅÛÀº ¿¬°£ 20´ë±îÁö »ý»ê·®À» ²ø¾î¿Ã¸°´Ù´Â ¹æħÀÌ´Ù.

ÇÑÆí, ASMLÀº 2022³â 1ºÐ±â ±âÁØ 35¾ï À¯·Î ¸ÅÃâ¿¡ 6¾ï 9500¸¸ ´Þ·¯ÀÇ ¼øÀÌÀÍÀ» ¿Ã·È´Ù.

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