¹Ì±¹ÀÌ ¼¼°èÀû ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶Àåºñ ¾÷ü ASMLÀÇ Àåºñ°¡ Áß±¹¿¡ ¼öÃâµÇ´Â °ÍÀ» Á¦ÇÑÇØ ´Þ¶ó°í ³×´ú¶õµå Á¤ºÎ¿¡ Ãß°¡ ¿ä±¸Çß´Ù´Â ¼Ò½ÄÀÌ´Ù.
ºÒ·ë¹ö±×¿¡ µû¸£¸é µ· ±×·¹À̺꽺 ¹Ì±¹ »ó¹«ºÎ ºÎÀå°üÀÌ ÃÖ±Ù ³×´ú¶õµå ¹æ¹® ´ç½Ã ASMLÀÌ ¸¸µå´Â ±¸Çü ½ÉÀڿܼ±(DUV) ³ë±¤ÀåºñÀÇ Áß±¹ ÆÇ¸Å ±ÝÁö¸¦ ¿äûÇß´Ù°í ¹àÇû´Ù. ³×´ú¶õµå Á¤ºÎ´Â À̺¸´Ù ¾Õ¼ ¹Ì±¹ÀÇ ¾Ð¹Ú¿¡ ASMLÀÇ ±ØÀڿܼ±(EUV) ³ë±¤Àåºñ Áß±¹ ¼öÃâ ½ÂÀÎÀ» ³»ÁÖÁö ¾Ê°í Àִµ¥, ¹Ì±¹Àº ÀÌ·¯ÇÑ ¼öÃâ Á¦ÇÑÀ» ±¸Çü ³ë±¤Àåºñ±îÁö È®´ëÇØ ÁÙ °ÍÀ» ¿ä±¸ÇÑ °Í.
¹Ì±¹Àº ³×´ú¶õµå ASML »Ó ¾Æ´Ï¶ó ÀϺ» ´ÏÄÜÀÇ DUV ³ë±¤Àåºñ Áß±¹ ÆÇ¸Å ±ÝÁö¸¦ ¿äû ÁßÀÎ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Àµ¥, DUV ³ë±¤Àåºñ´Â ÀÚµ¿Â÷³ª ½º¸¶Æ®Æù, PC, ·Îº¿ µî¿¡ µé¾î°¡´Â ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¿¡ ¾²À̰í ÀÖ´Ù.
³ë±¤Àåºñ´Â ¹ÝµµÃ¼ ±¼±×¸¦ ÃßÁø ÁßÀÎ Áß±¹ÀÌ ´ëüÇϱ⠰¡Àå Èûµç Àåºñ·Î ¾Ë·ÁÁ³°í, ÀÌ¿¡ ¹Ì±¹ÀÇ ¿ä±¸°¡ ¹Þ¾Æµé¿©Áú °æ¿ì Áß±¹ ÆÄ¿îµå¸® ¾÷ü¸¦ Æ÷ÇÔÇØ Àü¹ÝÀûÀÎ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ ¼ºÀå¿¡ Á¦¾àÀÌ °É¸± °ÍÀ¸·Î ¿¹ÃøµÇ°í ÀÖ´Ù.
´Ù¸¸, ³×´ú¶õ´ÙÀÇ 3´ë ±³¿ª±¹ Áß ÇÑ °÷ÀÌ Áß±¹ÀÎ ¸¸Å ¾ÆÁ÷ ³×´ú¶õµå Á¤ºÎ´Â ¹Ì±¹ÀÇ Ãß°¡ ¼öÃâ Á¦ÇÑ ¿ä±¸¿¡ ³»öÀ» Ç¥Çϰí ÀÖ´Â »óŸç, ³í¶õÀÇ Á߽ɿ¡ ¼± ASMLÀº DUV Àåºñ Áß±¹ ¼öÃâÀÌ ÁßÁöµÉ °æ¿ì ¸ÅÃâÀÌ ¾à 5%¿¡¼ ÃÖ´ë 10% °¡·® ³·¾ÆÁú °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÈ´Ù. |