ÇÁ·¢Æ¿¸®¾Æ(Fractilia)°¡ ÇÁ·¢Æ¿¸®¾Æ ¿À¹ö·¹ÀÌ ÆÐÅ°Áö(Fractilia Overlay Package)¸¦ Á¦°øÇÑ´Ù°í ¹àÇû´Ù.
ÇÁ·¢Æ¿¸®¾Æ ¿À¹ö·¹ÀÌ ÆÐÅ°Áö´Â ÇÁ·¢Æ¿¸®¾ÆÀÇ MetroLER™ ¹× FAME™ Á¦Ç°¿¡ ÇÙ½ÉÀûÀÎ ¿À¹ö·¹ÀÌ ÃøÁ¤ ¹× ºÐ¼® ±â´ÉÀ» »õ·Ó°Ô Ãß°¡ÇÏ´Â ¿É¼Ç Á¦Ç°ÀÌ´Ù. MetroLER™¿Í FAME™Àº ÇÁ·¢Æ¿¸®¾ÆÀÇ Æ¯Çã ±â¼úÀÎ FILM™(Fractilia Inverse Linescan Model) ±â¼ú¿¡ ÁøÁ¤ÇÑ ÄÄÇ»ÅÍ ºÐ¼® ±â¼úÀ» °áÇÕÇÑ °ÍÀ¸·Î¼, ÷´Ü ³ëµå¿¡¼ ÆÐÅÍ´× ¿À·ùÀÇ ¿øÀÎÀ¸·Î Áö¸ñµÇ´Â ¸ðµç ÁÖ¿ä ½ºÅäij½ºÆ½ È¿°ú¸¦ ¸Å¿ì Á¤È®ÇÏ°í Á¤¹ÐÇÏ°Ô ÃøÁ¤ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â À¯ÀÏÇÏ°Ô °ËÁõµÈ ÆÕ ¼Ö·ç¼ÇÀ» Á¦°øÇÑ´Ù. ÇöÀç ´Ù¼öÀÇ ¹ÝµµÃ¼ Ĩ Á¦Á¶»çµéÀÌ ÀڽŵéÀÇ ÁÖ»çÀüÀÚÇö¹Ì°æ(Scanning Electron Microscope, SEM) ±â¹Ý ¿À¹ö·¹ÀÌ µ¥ÀÌÅÍ ºÐ¼®¿¡ »õ·Î¿î ÇÁ·¢Æ¿¸®¾Æ ¿À¹ö·¹ÀÌ ÆÐÅ°Áö¸¦ È°¿ëÇϱâ À§ÇØ ÇÁ·¢Æ¿¸®¾Æ¿Í Çù·ÂÇÏ°í ÀÖ´Ù.
¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¿¡¼, ¿À¹ö·¹À̶õ ÆÐÅÍ´×ÀÌ ÀÌ·ç¾îÁø °¢ ·¹À̾ ÀÌÀü ´Ü°è ·¹À̾î À§¿¡ Á¤È®È÷ Æ÷°³ ³õÀ½À¸·Î½á µð¹ÙÀ̽º°¡ Àü±âÀû Á¢¼ÓÀÌ Àß ÀÌ·ç¾îÁö°í Á¦´ë·Î µ¿ÀÛÇÏ°Ô ÇÏ´Â °ÍÀ» ¸»ÇÑ´Ù. ±âÁ¸¿¡´Â Ĩ Á¦Á¶»çµéÀÌ ±¤ÇÐ ±â¹ÝÀÇ ÃøÁ¤ ÀåºñµéÀ» »ç¿ëÇØ ÀÌ·¯ÇÑ ÆÐÅÏ ¿À¹ö·¹À̸¦ ºÐ¼® ¹× Á¦¾îÇØ ¿Ô´Âµ¥, ÀÌ °øÁ¤Àº ³ôÀº ¼öÀ²·Î °í¼º´É ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽º¸¦ »ý»êÇÏ´Â µ¥ ÀÖ¾î¼ ÇʼöÀûÀÌ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ºÐ¼®Àº µð¹ÙÀ̽º ÀÚü¿¡¼º¸´Ù´Â ½ºÅ©¶óÀÌºê ¶óÀÎ(scribe line)¿¡¼ ƯÁ¤ Ç¥Àû¿¡ ´ëÇØ ÀÌ·ç¾îÁø´Ù. ĨÀÇ È¸·Î ¼±ÆøÀÌ °è¼ÓÇؼ Ãà¼ÒµÇ°í, EUV ÆÐÅÍ´× µµÀÔÀ¸·Î ½ºÅäij½ºÆ½ º¯ÀÌ°¡ Áõ°¡ÇÔ¿¡ µû¶ó, ½ºÅ©¶óÀÌºê ¶óÀο¡¼ ºÐ¼®µÇ´Â °Í°ú µð¹ÙÀ̽º¿¡¼ ½ÇÁ¦·Î ÀϾ´Â °Í »çÀÌ¿¡ Â÷ÀÌ°¡ Á¡Á¡ ´õ ¹ú¾îÁö°í ÀÖ´Ù. ±× °á°ú, ±¤ÇÐ Àåºñ¿¡ ºñÇØ ÇØ»óµµ¿Í Á¤¹Ðµµ°¡ ´õ ³ôÀº SEM Àåºñ¸¦ È°¿ëÇØ ¿À¹ö·¹À̸¦ ºÐ¼®ÇÏ´Â ¹æ½Ä¿¡ ´ëÇÑ °ü½ÉÀÌ ³ô¾ÆÁö°í ÀÖ´Ù. ÇÏÁö¸¸ SEMÀº SEM À̹ÌÁö¿¡ ³ëÀÌÁî°¡ »ý±â´Âµ¥, ÀÌ ³ëÀÌÁ ¿þÀÌÆÛ »óÀÇ ½ºÅäij½ºÆ½ º¯µ¿¼ºÀ¸·Î ¿ÀÀÎÇϱ⠽±´Ù.
ÇÁ·¢Æ¿¸®¾ÆÀÇ FAME ¼Ö·ç¼Ç Æ÷Æ®Æú¸®¿À´Â °íÀ¯ÀÇ ¹°¸®ÇÐ ±â¹Ý SEM ¸ðµ¨¸µ ¹× µ¥ÀÌÅÍ ºÐ¼® Á¢±Ù¹ýÀ» »ç¿ëÇؼ SEM À̹ÌÁö·ÎºÎÅÍ ½Ã½ºÅÛ Â÷¿øÀÇ ÀÓÀÇÀû ¿ÀÂ÷¸¦ ºÐ¼® ¹× Á¦°ÅÇÏ°í, À̹ÌÁö »ó¿¡ º¸ÀÌ´Â °ÍÀÌ ¾Æ´Ï¶ó ½ÇÁ¦ ¿þÀÌÆÛ »ó¿¡ ÀϾ°í ÀÖ´Â °ÍÀ» Á¤È®È÷ ÃøÁ¤Çϵµ·Ï ÇÑ´Ù. FAMEÀº ¶óÀÎ ¿¡Áö °ÅÄ¥±â(LER)/¶óÀÎÆø °ÅÄ¥±â(LWR), ±¹¼ÒÀû CD ±ÕÀϼº(LCDU), ±¹¼ÒÀû ¿¡Áö ¹èÄ¡ ¿À·ù(LEPE), ±×¸®°í ½ºÅäij½ºÆ½ °áÇÔ °°Àº ¸ðµç ÁÖ¿ä ½ºÅäij½ºÆ½ È¿°ú¸¦ µ¿½Ã¿¡ ÃøÁ¤ÇÒ »Ó ¾Æ´Ï¶ó ÀÓ°è¼±Æø(CD) ºÐ¼®µµ Á¦°øÇÑ´Ù. ÀÌ´Â ¾÷°è¿¡¼ ½ÅÈ£´ë ÀâÀ½ºñ(SNR)°¡ °¡Àå ³ôÀº ¿¡Áö °ËÃâÀ» ÀÚ¶ûÇϸç(°æÀï ¼Ö·ç¼Ç ´ëºñ ÃÖ´ë 5¹è ´õ ³ôÀº SNR), °¢°¢ÀÇ SEM À̹ÌÁö·ÎºÎÅÍ 30¹è ÀÌ»ó ´õ ¸¹Àº µ¥ÀÌÅ͸¦ ÃßÃâÇÑ´Ù.
»õ·Î¿î ÇÁ·¢Æ¿¸®¾Æ ¿À¹ö·¹ÀÌ ÆÐÅ°Áö¸¦ ÅëÇØ, ÇÁ·¢Æ¿¸®¾Æ´Â ±âÁ¸ÀÇ ºÐ¼® ¼º´É¿¡ ´õÇؼ °íµµ·Î Á¤È®ÇÑ SEM ±â¹Ý ¿À¹ö·¹ÀÌ ºÐ¼®(½ºÅäij½ºÆ½ Ư¼º ºÐ¼® Æ÷ÇÔ)À» Ãß°¡ÇÏ°Ô µÇ¾ú´Ù. ÇÁ·¢Æ¿¸®¾ÆÀÇ Á¦Ç°Àº ¼±µµÀûÀÎ ÁÖ¿ä ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶»ç, Àåºñ ȸ»ç, ¼ÒÀç °ø±Þȸ»ç, ¿¬±¸ ±â°ü µî ¹ÝµµÃ¼ ¾÷°è ¼ö½Ê ¿© ±â¾÷µéÀÌ Ã¤ÅÃÇÏ°í ÀÖ´Ù.
|