ÀÎÅÚ ÆÄ¿îµå¸®(Intel Foundry)´Â ¹Ì±¹ ¿À¸®°ÇÁÖ Èú½ºº¸·Î(Hillsboro, Oregon) R&D ±¸¿ª¿¡ À§Ä¡ÇÑ ¾÷°è ÃÖÃÊ »ó¾÷¿ë °í°³±¸À²(High Numerical Aperture, High NA) ±ØÀڿܼ±(Extreme Ultraviolet, EUV) ³ë±¤Àåºñ(¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ½ºÄ³³Ê) Á¶¸³À» ¿Ï·áÇϸç ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ ºÐ¾ß¿¡¼ Áß¿äÇÑ ÀÌÁ¤Ç¥¸¦ ´Þ¼ºÇß´Ù.
³ë±¤ ¼±µÎ¾÷ü ASML»ç Á¦Ç°ÀÎ ÀÎÅÚÀÇ ÇÏÀÌ NA EUV Àåºñ Æ®À©½ºÄµ EXE:5000(TWINSCAN EXE:5000)Àº ÀÎÅÚÀÇ Ã·´Ü °øÁ¤ ·Îµå¸Ê °³¹ß¿¡ »ç¿ëµÉ Áغñ¸¦ À§ÇØ ¿©·¯ Á¶Á¤(calibration) ´Ü°è¸¦ ÁøÇà ÁßÀÌ´Ù. ÀÌ ½Å±Ô Àåºñ´Â ÀμâµÈ À̹ÌÁö¸¦ ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ¿¡ Åõ»çÇϱâ À§ÇÑ ±¤ÇÐ ¼³°è º¯°æÀ» ÅëÇØ Â÷¼¼´ë ÇÁ·Î¼¼¼ÀÇ ÇØ»óµµ¿Í ±â´É È®ÀåÀ» ȹ±âÀûÀ¸·Î °³¼±ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±â´ÉÀ» °®Ãß°í ÀÖ´Ù.
¸¶Å© Çʸ³½º(Mark Phillips) ÀÎÅÚ Æç·Î¿ì °â ÀÎÅÚ ÆÄ¿îµå¸® ·ÎÁ÷ ±â¼ú °³¹ß ºÎ¹® ³ë±¤, Çϵå¿þ¾î ¹× ¼Ö·ç¼Ç ´ã´ç µð·ºÅÍ´Â “ÇÏÀÌ NA EUV Ãß°¡·Î, ÀÎÅÚÀº ¾÷°è¿¡¼ °¡Àå ´Ù¹æ¸éÀÇ ³ë±¤ Àåºñ¸¦ º¸À¯ÇÏ°Ô µÇ¾úÀ¸¸ç, 2025³â ÀÌÈÄ ÀÎÅÚ 18A¸¦ ³Ñ¾î ¹Ì·¡ °øÁ¤À» ÃßÁøÇÒ ¿ª·®À» °®Ãß°Ô µÇ¾ú´Ù”°í ¹àÇû´Ù.
ÇÏÀÌ NA EUV Àåºñ´Â ÷´Ü Ĩ °³¹ß°ú ÀÎÅÚ 18A ÀÌÈÄ Â÷¼¼´ë ÇÁ·Î¼¼¼ »ý»ê¿¡¼ ÇÙ½ÉÀûÀÎ ¿ªÇÒÀ» ÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. ¾÷°è ÃÖÃÊ·Î ÇÏÀÌ NA EUV¸¦ µµÀÔÇÑ ÀÎÅÚ ÆÄ¿îµå¸®´Â Ĩ Á¦Á¶¿¡¼ ÀÌÀü¿¡´Â º¼ ¼ö ¾ø¾ú´ø Á¤¹Ðµµ¿Í È®À强À» Á¦°øÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÇ¾úÀ¸¸ç, ÀÚÀ²ÁÖÇàÀ̳ª ±âŸ ÷´Ü ±â¼ú ¹ßÀüÀ» µµ¸ðÇϴµ¥ ÇʼöÀûÀÎ Çõ½ÅÀûÀÎ ±â´ÉÀ» °®Ãá ĨÀ» °³¹ßÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
ASMLÀº ÃÖ±Ù ³×´ú¶õµå ÆçƮȣ¹ø(Veldhoven) º»»ç¿¡ À§Ä¡ÇÑ ÇÏÀÌ NA ¿¬±¸¼Ò¿¡¼ ¼¼°è ÃÖÃÊ·Î 10nm(³ª³ë¹ÌÅÍ) ÆøÀÇ ¼±À» ÀμâÇß´Ù°í ¹ßÇ¥ÇÑ ¹Ù ÀÖ´Ù. ÀÌ´Â Áö±Ý±îÁö ÀμâµÈ ȸ·Î Áß °¡Àå ¹Ì¼¼ÇÑ ¶óÀÎÀ¸·Î, EUV ³ë±¤ ÀåºñÀÇ ÇØ»óµµ ¼¼°è ±â·ÏÀ» °æ½ÅÇß´Ù. À̹ø ½Ã¿¬Àº ASML ÆÄÆ®³ÊÀÎ ÀÚÀ̽º(Zeiss)ÀÇ Çõ½ÅÀûÀÎ ÇÏÀÌ-NA EUU ±¤ÇÐ ¼³°è¸¦ ÀÔÁõÇÏ°í ÀÖ´Ù.
Àüü ½ºÆå¿¡¼ ½ÇÇàÇϱâ À§ÇÑ »çÀü ´Ü°è·Î ÀåºñÀÇ ±¤ÇÐ ÀåÄ¡, ¼¾¼ ¹× ½ºÅ×ÀÌÁö°¡ ´ë·«ÀûÀÎ º¸Á¤À» ¿Ï·áÇÑ ÈÄ È¹±âÀûÀÎ À̹ÌÁö°¡ Àü»çµÇ¾ú´Ù. Ç® ÇÊµå ±¤ÇÐ ³ë±¤ ½Ã½ºÅÛÀ» »ç¿ëÇÏ¿© 10nm ÁýÀûµµÀÇ È¸·Î¸¦ ÀμâÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ASML ±â¼úÀº ÇÏÀÌ NA EUV ÀåºñÀÇ »ó¿ëȸ¦ À§ÇÑ ÇÙ½É ´Ü°èÀÌ´Ù.
ÀÎÅÚ ÆÄ¿îµå¸®ÀÇ ´Ù¸¥ ÁÖ¿ä °øÁ¤ ±â¼ú ¿ª·®°ú °áÇÕÇÏ¿©, ÇÏÀÌ NA EUV´Â ±âÁ¸ EUV Àåºñº¸´Ù ÃÖ´ë 1.7¹è ¹Ì¼¼ÇÏ°Ô Àü»çÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ¸·Î ¿¹»óÇÑ´Ù. À̸¦ ÅëÇØ 2D ±â´ÉÀÇ È®ÀåÀÌ °¡´ÉÇØ ÁýÀûµµ°¡ 2.9¹è Çâ»óµÉ °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ. ÀÎÅÚÀº ´õ ¹Ì¼¼ÇÏ°í ÁýÀûµµ°¡ ³ôÀº Ĩ ÇüÅÂÈ(patterning)À» À̲ø¸ç ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ Àü¹Ý¿¡ °ÉÄ£ ¹«¾îÀÇ ¹ýÄ¢À» °è½ÂÇÏ°í ÀÖ´Ù.
0.33NA EUV ´ëºñ ÇÏÀÌ NA EUV(¶Ç´Â 0.55NA EUV)´Â À¯»çÇÑ ±â´É¿¡ ´ëÇØ ³ëÃâ ´ç ´õ ÀûÀº ±¤·®À¸·Î ´õ ³ôÀº À̹Ì¡ ÄÜÆ®¶ó½ºÆ®¸¦ Á¦°øÇÏ¿© °¢ ·¹À̾ ÀμâÇÏ´Â µ¥ ÇÊ¿äÇÑ ½Ã°£ÀÌ ÁÙ¾îµé¾î ÆÕÀÇ ¿þÀÌÆÛ »ý»ê·®À» ³ôÀÏ ¼ö ÀÖ´Ù.
ÀÎÅÚÀº 2025³â ÀÎÅÚ 18A Á¦Ç° °ËÁõÀ» ½ÃÀÛÀ¸·Î ÀÎÅÚ 14A »ý»ê¿¡ À̸£±â±îÁö ÷´Ü ĨÀ» °³¹ß ¹× Á¦Á¶ÇÒ ¶§ ´Ù¸¥ ³ë±¤ °øÁ¤°ú ÇÔ²² 0.33NA EUV ¹× 0.55NA EUV¸¦ ¸ðµÎ »ç¿ëÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óÇÑ´Ù. ÀÎÅÚÀº ºñ¿ë°ú ¼º´ÉÀ» À§ÇØ Ã·´Ü °øÁ¤ ±â¼úÀ» ÃÖÀûÈÇÏ´Â Á¢±Ù ¹æ½ÄÀ» ÃëÇÏ°í ÀÖ´Ù.
ÀÎÅÚÀº ¼ö½Ê³â µ¿¾È ASML°ú Çù·ÂÇÏ¿© 193nm ¾×ħ ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ(immersion lithography)ºÎÅÍ EUV, Hign NA EUV±îÁöÀÇ Áøȸ¦ °ßÀÎÇØ ¿Ô´Ù. ±× °á°ú°¡ ¹Ù·Î °¡Àå ¹ßÀüµÈ °øÁ¤ Àåºñ Áß ÇϳªÀÎ Æ®À©½ºÄµ EXE:5000ÀÌ´Ù. ÇÏÀÌ NA EUV ³ë±¤ ÀåºñÀÇ Ã¤ÅÃÀ¸·Î ÀÎÅÚÀº ¹«¾îÀÇ ¹ýÄ¢ È®ÀåÀÇ ÃÖÀü¼±¿¡ ¼¼ ¿Ë½ºÆ®·Ò ½Ã´ë(Angstrom Era)·Î ÀüȯÇÏ°Ô µÇ¾ú´Ù.
Æ®À©½ºÄµ EXE:5000 ½Ã½ºÅÛÀº 43°³ ȹ° ÄÁÅ×À̳ʿ¡ ´ã±ä 250°³ ÀÌ»óÀÇ Å©·¹ÀÌÆ®¿¡ ´ã°Ü ¿À¸®°ÇÀ¸·Î À̼۵Ǿú´Ù. ÀÌ ½Ã½ºÅÛÀº ¿©·¯ ȹ°±â¿¡ ¼±ÀûµÇ¾î ½Ã¾ÖƲ¿¡ µµÂøÇßÀ¸¸ç, 20¿© ´ëÀÇ Æ®·°À¸·Î ¿Å°ÜÁ® ¿À¸®°ÇÀ¸·Î ¿î¼ÛµÆ´Ù. »õ·Î¿î ½Ã½ºÅÛÀÇ Àüü Áß·®Àº 150 ¸ÅÆ®¸¯ Åæ ÀÌ»óÀÌ´Ù. (ÀÚ¼¼ÇÑ ³»¿ëÀº ÀÎÆ÷±×·¡ÇÈ ¹× ÆÑÆ® ½ÃÆ® Âü°í)
ÀÎÅÚÀº 2021³â ÇÏÀÌ NA EUV¸¦ µµÀÔÇÒ °èȹÀ» ¹ßÇ¥ÇßÀ¸¸ç, 2022³â¿¡ ÀÎÅÚ°ú ASMLÀº ÷´Ü ±â¼ú ÁÖµµ¸¦ À§ÇØ °è¼Ó Çù·ÂÇÏ°Ú´Ù°í ¹ßÇ¥ÇÑ ¹Ù ÀÖ´Ù. ÀÎÅÚÀº ½Ã°£´ç 200°³ ÀÌ»óÀÇ ¿þÀÌÆÛ »ý»ê¼ºÀ» °®Ãá Â÷¼¼´ë Æ®À©½ºÄµ EXE:5200 ½Ã½ºÅÛÀ» µµÀÔÇÏ¿© ¾÷°èÀÇ ÇÏÀÌ NA EUV ½Ã½ºÅÛÀÇ ÃÖÃÊ »ç¿ëÀÚ°¡ µÉ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
ÇÏÀÌ NA EUV¿¡ ´ëÇÑ Ãß°¡ Á¤º¸: ÇÏÀÌ NA EUV ³ë±¤Àåºñ´Â Áö±¸¿¡¼ ÀÚ¿¬ÀûÀ¸·Î ¹ß»ýÇÏÁö ¾Ê´Â ºûÀÇ ÆÄÀå(13.5nm)À» »ç¿ëÇÏ´Â EUV ¸®¼Ò±×·¡ÇǸ¦ ¶Ù¾î³Ñ´Â Çõ½ÅÀûÀÎ ´Ü°èÀÌ´Ù. ÀÌ ºûÀº žçÀÇ Æò±Õ Ç¥¸é ¿Âµµº¸´Ù °ÅÀÇ 40¹è ´õ ³ôÀº ¼·¾¾ 22¸¸µµÀÇ ¿Âµµ·Î °¡¿µÈ ÁÖ¼® ¹æ¿ï¿¡ °·ÂÇÑ ·¹ÀÌÀú°¡ ºÎµúÇô »ý¼ºµÈ´Ù. ÀÌ ºûÀº ¿øÇϴ ȸ·Î ÆÐÅÏÀÇ ÅÛÇø´ÀÌ Æ÷ÇÔµÈ ¸¶½ºÅ©¿¡¼ ¹Ý»çµÈ ÈÄ Áö±Ý±îÁö Á¦ÀÛµÈ °¡Àå Á¤È®ÇÑ ¹Ý»çü·Î Á¦ÀÛµÈ ±¤ÇÐ ½Ã½ºÅÛÀ» ÅëÇØ ¹Ý»çµÈ´Ù.
NA(Numerical Aperture)´Â ºûÀ» ¼öÁýÇÏ°í ÃÊÁ¡À» ¸ÂÃß´Â ´É·ÂÀ» ÃøÁ¤Çϴ ôµµÀÌ´Ù. ÇÏÀÌ NA EUV ±â¼úÀº ¿þÀÌÆÛ¿¡ ÆÐÅÏÀ» Åõ¿µÇϴµ¥ »ç¿ëµÇ´Â ±¤ÇÐ ÀåÄ¡ÀÇ ¼³°è¸¦ º¯°æÇÔÀ¸·Î½á ÇØ»óµµ¿Í Æ®·£Áö½ºÅÍ Å©±â¸¦ Å©°Ô Çâ»ó½Ãų ¼ö ÀÖ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ Ãʹ̼¼ Æ®·£Áö½ºÅ͸¦ »ý¼ºÇÏ·Á¸é »õ·Î¿î Æ®·£Áö½ºÅÍ ±¸Á¶¿Í ´Ù¸¥ °øÁ¤ ´Ü°èÀÇ °³¼±ÀÌ ÇÊ¿äÇϸç, ÀÎÅÚÀº ÃÖÃÊÀÇ ÇÏÀÌ NA EUV ½Ã½ºÅÛ ÅëÇÕ°ú º´ÇàÇÏ¿© °³¹ß ÁßÀÎ ´Ù¸¥ °øÁ¤ ´Ü°èµµ °³¼± ÁßÀÌ´Ù.
ÀÎÅÚ ÆÄ¿îµå¸® ¿À¸®°Ç R&D »çÀÌÆ® ¼Ò°³: ¿À¸®°ÇÀº ÀÎÅÚ ±â¼ú°ú R&DÀÇ ÇٽɺÎÀÌ´Ù. À̹ø ÃֽŠ¼¼´ëÀÇ ³ë±¤Àåºñ¸¦ µµÀÔÇϱâ À§ÇØ ÀÎÅÚÀº ¿À¸®°Ç¿¡ ÀÖ´Â D1X ÆÕ È®Àå¿¡ 30¾ï ´Þ·¯ ÀÌ»óÀ» ÅõÀÚÇÏ¿© 27¸¸ Æò¹æÇÇÆ®(¾à 2¸¸ 5õ Á¦°ö¹ÌÅÍ, 7õ5¹éÆò ÀÌ»ó)ÀÇ Å¬¸°·ë °ø°£À» Ãß°¡ÇØ 2022³â¿¡ Mod 3¸¦ ¿¾ú´Ù
¿¬±¸ °á°ú¸¦ Á¦Á¶ °¡´ÉÇÑ ÃÖ÷´Ü ½ÇÁ¦ Á¦Ç°À¸·Î ÀüȯÇÏ´Â °ÍÀº ÀÎÅÚÀÌ 50³â ÀÌ»ó Ź¿ùÇÑ ¼º°ú¸¦ °ÅµÎ¾î¿Â ºÐ¾ßÀÌ´Ù. ÇÏÀÌ NA EUV¿Í °°Àº ÃÖ÷´Ü Àåºñ ¹× R&D¿¡ ´ëÇÑ ÅõÀÚ´Â ¹Ì±¹³»¿¡¼ ĨÀ» Á¦Á¶ ¿ª·®À» È®ÀåÇÏ°í R&D¸¦ È°¼ºÈÇÏ¿© ±¹°¡ °æÁ¦ ¹× ¾Èº¸ ¸ñÇ¥ ´Þ¼º¿¡ ±â¿©ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ¿À¸®°ÇÁÖ¿¡¼ R&D¸¦ È®´ëÇÏ°í ÃֽŠ³ë±¤Àåºñ¸¦ »ç¿ëÇÏ¸é ½Å±Ô ÀÏÀÚ¸® âÃâ ¹× ÃÖ°íÀÇ ÀÎÀ縦 ºÏ¼ºÎ·Î À¯Ä¡ÇÏ´Â µ¥ µµ¿òÀÌ µÉ °ÍÀÌ´Ù. ÀÎÅÚÀº ÇöÀç´Â ¹°·Ð ¹Ì·¡¿¡µµ ¹Ì±¹ÀÇ Â÷¼¼´ë ¹ÝµµÃ¼ ±â¼ú°ú Á¦Á¶¸¦ °¡¼ÓÈÇϴµ¥ ÁýÁßÇÒ °ÍÀÌ´Ù.
|