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다우코닝, 실리콘 주입 이중층 포토레지스트 용 폴리머 생산 확대

2008-02-19 13:51
김찬호 前 기자 mercutio님의 미디어로그 가기 press@bodnara.co.kr

다우코닝은 이중층 포토레지스트 생산에 필요한 실리콘 폴리머 레진의 생산량을 두 배 이상 늘린다고 발표했다.

 

2006년 12월에 다우코닝과 TOK는 다우코닝의 실리콘 폴리머 레진을 이미징 레이어에 사용한 이중층 포토레지스트를 공동 개발하는데 성공, 193nm 리소그래피 공정을 이용하는 칩 제조사들에게 더욱 향상된 식각 선택비(etch selectivity)를 제공할 수 있게 됐다고 밝히며, 그 이후 2007년 12월에 세계적인 메모리 칩 제조업체가 이중층 포토레지스트를 사용해 생산에 돌입했다고 발표한 바 있다.

 

빛 감지에 뛰어난 포토레지스트는 빛에 노출된 후 용해 여부가 결정되기 때문에 뒤따른 식각 공정 과정에서 일부분을 선택하여 제거할 수 있다. 칩 제조사들은 다우코닝의 실리콘 레진을 포토센서티브 소재와 결합시켜 더 얇은 포토레지스트 층을 사용할 수 있다. 이는 패턴 해상도를 향상시켜 더욱 작은 회로 패턴 생산을 가능케 한 것.

 

다우코닝은 2004년 이 시장에 진입한 이래 193nm 포토레지스트 및 무반사 코팅 용의 실리콘 레진 개발을 위해 리소그래피 소재 업체들과 협력하고 있다고 밝혔다.

이 기사의 의견 보기
joel83 (ID) joel83님의 미디어로그 가기  / 08-02-19 13:52/ 신고
우어어. 이중층 포토레지스트라는게 어디에 쓰이는건가요 쿨럭;
jin2006 (ID) / 08-02-19 14:39/ 신고
잘은 모르겠지만...
메모리 시장이 좋아진다는 건지...메모리가 좋아 진다는 건지..
kama136 (ID) / 08-02-19 17:04/ 신고
공정이 미세화될수록 많은 패턴을 인쇄하는 것이 어렵다고 하던데... 도움이 되겠네요.
kss8569 (ID) kss8569님의 미디어로그 가기  / 08-02-19 18:53/ 신고
공정이 더 작아질라나? ...
yunkj (ID) yunkj님의 미디어로그 가기  / 08-02-19 19:01/ 신고
반도체가 점점 미세하 시킬 수 있는 기술 같네요.
yewtree923 (ID) yewtree923님의 미디어로그 가기  / 08-02-19 20:23/ 신고
무슨 말이지 했는데.. 윗분들 댓글 보고 재차 확인하니 약간은
이해가 되는 것 같기도 하네요 ㅎㅎ;;
ho5945 (ID) ho5945님의 미디어로그 가기  / 08-02-19 20:54/ 신고
포토레지스트..?-_-; 프린터는 아닌데... 웨이퍼 같은건가 봅니다. 이중으로 제조가 가능하다는 것 같은딩..?
sky0734 (ID) sky0734님의 미디어로그 가기  / 08-02-19 22:08/ 신고
다우코닝이란 업체가 정말 유명한 업체인데 이런 것도 만드네요.
ohye701 (ID) ohye701님의 미디어로그 가기  / 08-02-19 22:23/ 신고
포토레지스트가 뭐하는건가요?;
blasty (ID) blasty님의 미디어로그 가기  / 08-02-19 23:35/ 신고
이름만 들어서는 감이 오지 않는 업체들 중에서 유명한 업체에 속하는,ㅎㅎ
rockcd (ID) rockcd님의 미디어로그 가기  / 08-02-20 10:41/ 신고
단순히 제품이 아닌 이런 기술류에 관한것은 잘모르겠네요
jinnei77 (ID) jinnei77님의 미디어로그 가기  / 08-02-20 11:38/ 신고
실리콘 레진...기존의 레진이랑 틀린건가요? 차량에 많이 쓰이던데..
happygump (ID) / 08-02-20 14:55/ 신고
반도체 만들 때 사용되는 재료군요.
y20303 (ID) y20303님의 미디어로그 가기  / 08-02-21 20:57/ 신고
뭘하는데 사용한다는건지 감이 잘 오질 않네요..
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