다우코닝, 실리콘 주입 이중층 포토레지스트 용 폴리머 생산 확대

2008-02-19 13:51
김찬호 前 기자

press@bodnara.co.kr

다우코닝은 이중층 포토레지스트 생산에 필요한 실리콘 폴리머 레진의 생산량을 두 배 이상 늘린다고 발표했다.

2006년 12월에 다우코닝과 TOK는 다우코닝의 실리콘 폴리머 레진을 이미징 레이어에 사용한 이중층 포토레지스트를 공동 개발하는데 성공, 193nm 리소그래피 공정을 이용하는 칩 제조사들에게 더욱 향상된 식각 선택비(etch selectivity)를 제공할 수 있게 됐다고 밝히며, 그 이후 2007년 12월에 세계적인 메모리 칩 제조업체가 이중층 포토레지스트를 사용해 생산에 돌입했다고 발표한 바 있다.

빛 감지에 뛰어난 포토레지스트는 빛에 노출된 후 용해 여부가 결정되기 때문에 뒤따른 식각 공정 과정에서 일부분을 선택하여 제거할 수 있다. 칩 제조사들은 다우코닝의 실리콘 레진을 포토센서티브 소재와 결합시켜 더 얇은 포토레지스트 층을 사용할 수 있다. 이는 패턴 해상도를 향상시켜 더욱 작은 회로 패턴 생산을 가능케 한 것.

다우코닝은 2004년 이 시장에 진입한 이래 193nm 포토레지스트 및 무반사 코팅 용의 실리콘 레진 개발을 위해 리소그래피 소재 업체들과 협력하고 있다고 밝혔다.

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joel83 (ID)

/ 08-02-19 13:52/ 신고

우어어. 이중층 포토레지스트라는게 어디에 쓰이는건가요 쿨럭;

jin2006 (ID) / 08-02-19 14:39/ 신고

잘은 모르겠지만...
메모리 시장이 좋아진다는 건지...메모리가 좋아 진다는 건지..

kama136 (ID) / 08-02-19 17:04/ 신고

공정이 미세화될수록 많은 패턴을 인쇄하는 것이 어렵다고 하던데... 도움이 되겠네요.

kss8569 (ID)

/ 08-02-19 18:53/ 신고

공정이 더 작아질라나? ...

yunkj (ID)

/ 08-02-19 19:01/ 신고

반도체가 점점 미세하 시킬 수 있는 기술 같네요.

yewtree923 (ID)

/ 08-02-19 20:23/ 신고

무슨 말이지 했는데.. 윗분들 댓글 보고 재차 확인하니 약간은
이해가 되는 것 같기도 하네요 ㅎㅎ;;

ho5945 (ID)

/ 08-02-19 20:54/ 신고

포토레지스트..?-_-; 프린터는 아닌데... 웨이퍼 같은건가 봅니다. 이중으로 제조가 가능하다는 것 같은딩..?

sky0734 (ID)

/ 08-02-19 22:08/ 신고

다우코닝이란 업체가 정말 유명한 업체인데 이런 것도 만드네요.

ohye701 (ID)

/ 08-02-19 22:23/ 신고

포토레지스트가 뭐하는건가요?;

blasty (ID)

/ 08-02-19 23:35/ 신고

이름만 들어서는 감이 오지 않는 업체들 중에서 유명한 업체에 속하는,ㅎㅎ

rockcd (ID)

/ 08-02-20 10:41/ 신고

단순히 제품이 아닌 이런 기술류에 관한것은 잘모르겠네요

jinnei77 (ID)

/ 08-02-20 11:38/ 신고

실리콘 레진...기존의 레진이랑 틀린건가요? 차량에 많이 쓰이던데..

happygump (ID) / 08-02-20 14:55/ 신고

반도체 만들 때 사용되는 재료군요.

y20303 (ID)

/ 08-02-21 20:57/ 신고

뭘하는데 사용한다는건지 감이 잘 오질 않네요..

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