½ºÆÒ¼ÇÀº 300mm ¿þÀÌÆÛ¸¦ »ç¿ëÇÏ´Â ¡®½ºÆÒ¼Ç 1¡¯(ÀÌÇÏ SP1) ÆÕÀÇ ºÐ±âº° »ý»ê·®ÀÌ 2¸¸5õÀåÀ» ³Ñ¾î¼´Â ¼º°ú¸¦ ´Þ¼ºÇß´Ù°í ¹ßÇ¥Çß´Ù.
ÀϺ» ¾ÆÀÌÁÖ¿¡ À§Ä¡ÇÑ SP1Àº 300mm ¿þÀÌÆÛ¸¦ »ç¿ëÇØ 65nm ¹Ì¼¼°øÁ¤À» Àû¿ëÇÏ´Â ³ë¾î Ç÷¡½Ã ¸Þ¸ð¸® »ý»ê °øÀåÀ̸ç, ÇöÀç ½ºÆÒ¼ÇÀÇ ÁÖ¿ä °í°´»çµéÀº SP1¿¡¼ »ý»êµÇ´Â ¹Ì·¯ºñÆ® ÀÌŬ¸³½º µî ½ºÆÒ¼ÇÀÇ ÃֽŠ65nm Ç÷¡½Ã ¸Þ¸ð¸® ¼Ö·ç¼ÇµéÀ» ÀÚ»çÀÇ Á¦Ç°µé¿¡ Àû¿ëÇϰí ÀÖ´Ù°í ½ºÆÒ¼ÇÀº ¹àÇû´Ù.
½ÃÀåºÐ¼®±â°üÀÎ ¿ÀºêÁ§Æ¼ºê ¾Ö³Î¸®½Ã½º(Objective Analysis)¿¡ µû¸£¸é, 300mm ¿þÀÌÆÛ¸¦ »ç¿ëÇÒ °æ¿ì 200mm ¿þÀÌÆÛ¿¡ ºñÇØ 30 ÆÛ¼¾Æ® ÀÌ»óÀÇ ºñ¿ë Àý°¨ È¿°ú¸¦ ´©¸± ¼ö ÀÖ´Ù.
¶ÇÇÑ ½ºÆÒ¼ÇÀº ÀÚ»çÀÇ ´ëÇ¥ÀûÀÎ Â÷º°È ±â¼úÀÎ ¹Ì·¯ºñÆ® ±â¼ú ±â¹ÝÀÇ Á¦Ç°À» ÷´Ü »ý»ê°øÁ¤À» Àû¿ëÇØ »ý»êÇÔÀ¸·Î½á ´õ¿í °¡°Ý °æÀï·ÂÀ» ³ôÀÏ ¼ö ÀÖ°Ô µÇ¾ú´Ù°í ¹àÇû´Ù. ½ºÆÒ¼ÇÀÇ ¹Ì·¯ºñÆ® ±â¼úÀº °æÀï»çµéÀÌ »ç¿ëÇÏ´Â ±âÁ¸ÀÇ ÇÃ·ÎÆÃ °ÔÀÌÆ® ¹æ½ÄÀÇ ±â¼ú°ú ºñ±³ÇØ ´ë¿ë·® Ç÷¡½Ã ¸Þ¸ð¸® Á¦Ç° »ý»ê¿¡ ÀÖ¾î¼ ³ôÀº ¼öÀ²°ú »ý»ê·® Áõ´ë°¡ °¡´ÉÇÑ ±â¼úÀ̶ó°í µ¡ºÙ¿´´Ù..
ÇÑÆí, SP1Àº ½ºÆÒ¼ÇÀÌ º°µµ ¹ýÀÎÀ¸·Î µ¶¸³ÇÑ ÀÌÈÄ °Ç¼³ÇÑ Ã¹¹øÂ° ÆÕÀ¸·Î, ½ºÆÐ¼ÇÀÇ ¶Ç ´Ù¸¥ ÆÕÀÎ JV3¿Í ÇÔ²² ÀϺ» ¾ÆÀÌÁÖ¿¡ À§Ä¡ÇØ »ý»êÀη ¹× ¼³ºñ µîÀ» °øÀ¯Çϰí ÀÖ´Ù. ½ºÆÒ¼ÇÀº ³»³âºÎÅÍ 45nm °øÁ¤±â¼úÀ» Àû¿ëÇØ ´õ¿í Çâ»óµÈ ºñ¿ë È¿À²¼ºÀ» ¾òÀ» ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ¸·Î ¿¹»óÇϰí ÀÖ´Ù. |