»ï¼ºÀüÀÚ-ÀÎÅÚ-TSMC 3»ç°¡ 450mm ¿þÀÌÆÛ ±Ô°Ý Àüȯ¿¡ Çù·ÂÇϱâ·Î Çß´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ¿¡ µû¸£¸é 3»ç´Â ¹ÝµµÃ¼ ±â¼úÀÌ ¹ßÀüÇÔ¿¡ µû¶ó Á÷Á¢È¸·ÎÀÇ º¹À⼺ÀÌ Áõ°¡ÇØ Á¦Á¶ ºñ¿ëÀÌ ³ô¾ÆÁö°í ÀÖ¾î, ÀÌ¿¡ ´ëÇÑ ÇØ°áÃ¥À¸·Î 2012³â¿¡ 450mm ÆÄÀÏ·µ ¶óÀÎ °¡µ¿À» À§ÇÑ ºÎǰ°ú ÀÎÇÁ¶ó µîÀÌ °®ÃçÁú ¼ö ÀÖµµ·Ï ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¾÷°è¿Í Àåºñ¾÷°è Àü¹Ý¿¡ °ÉÃÄ ¿þÀÌÆÛ ±Ô°Ý Àüȯ ÃßÁø¿¡ Çù·ÂÇØ ³ª°¥ ¿¹Á¤À̶ó°í ÇÑ´Ù.
¿þÀÌÆÛ ±Ô°ÝÀÌ È®´ëµÇ¸é ¿þÀÌÆÛ 1Àå´ç »ý»êÇÒ ¼ö Àִ ĨÀÇ ¼ýÀÚ°¡ ´Ã¾î³ª Ĩ´ç »ý»êºñ¿ëÀÌ ³·¾ÆÁö´Âµ¥, 450mm ¿þÀÌÆÛ ±Ô°ÝÀ¸·Î ÀüȯµÇ¸é ±âÁ¸ 300mm ¿þÀÌÆÛ¿¡ ºñÇØ 2¹è ÀÌ»óÀÇ »ý»ê¼ºÀÌ Çâ»óµÉ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÇ°í ÀÖ´Ù. ¶ÇÇÑ 200mm ¿þÀÌÆÛ¿¡¼ 300mm·Î ÀüȯÇßÀ» ¶§¿Í ¸¶Âù°¡Áö·Î °³º° Ĩ´ç ¹°ÀÇ »ç¿ë·®°ú °¡½º ¹æÃâ·®ÀÌ ÁÙ¾îµé¾î ȯ°æ ¿À¿°µµ ÁÙÀÏ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç, ¿¡³ÊÁö¿Í °¢Á¾ ¿øÀÚÀçÀÇ È¿À²ÀûÀΠȰ¿ëµµ °¡´ÉÇÒ °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ.
3»ç´Â À̹ø 450mm ¿þÀÌÆÛ Àüȯ¿¡ ´ëÇØ Áö³ 1991³â 200mm Á¦Á¶ ¶óÀÎÀÌ Ã³À½ µµÀԵǾî 2001³â¿¡ 300mm ±Ô°ÝÀ¸·Î ÀüÈ¯ÇØ »ý»ê¼ºÀ» ³ô¿´À¸¸ç, ÀÌ·¯ÇÑ ¼ºÀå ±âÁ¶¿¡ ¸ÂÃç 2012³âÀÌ 450mm ¿þÀÌÆÛ·ÎÀÇ Àüȯ¿¡ ÀûÇÕÇÑ ½Ã±â¶ó´Âµ¥ µ¿ÀÇÇß´Ù°í ¼³¸íÇßÀ¸¸ç, 450mm ¿þÀÌÆÛ °³¹ß¿¡ µû¸¥ R&D ºñ¿ë ºÎ´ãµµ ¹ÝµµÃ¼ ¾÷°è°¡ °øÅëÀÇ Ç¥ÁØÀ» Àû¿ëÇÑ´Ù¸é ºñ¿ë °¨¼Ò°¡ °¡´ÉÇÒ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁÇß´Ù.
¶ÇÇÑ 3»ç´Â À̹ø 450mm ±Ô°Ý Àüȯ Çù·Â¿¡ µû¶ó ¼¼°è ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¾÷ü ÄÁ¼Ò½Ã¾öÀÎ ISMI(International Sematech Manufacturing Initiative) ÁÖµµ·Î 450mm ¿þÀÌÆÛ °ø±Þ°ú Ç¥ÁØ ±Ô°Ý ¼ö¸³°ú ¼³ºñ Å×½ºÆ® º£µå È®¸³ µîÀ» À§ÇØ ÇÔ²² ³ë·ÂÇÒ ¿¹Á¤À̶ó°í µ¡ºÙ¿´´Ù.
|