ÀÎÅÚÀº ÇÁ·Î¼¼¼¸¦ ºñ·ÔÇÑ ´Ù¾çÇÑ ÀåÄ¡µéÀ» °³¹ß ¹× »ý»êÇϰí ÀÖ°í ÀÌ¿¡ ¸Â´Â ¸¹Àº ¼öÀÇ °øÀåµéÀ» °®Ãß°í Àִµ¥ Áö³ 2011³â 6¿ù 7ÀÏ ¾Æ¸®Á¶³ª¿¡ À§Ä¡ÇÑ Fab 22¿¡¼ Æø¹ß»ç°í°¡ ¹ß»ýÇß´Ù´Â ¼Ò½ÄÀÌ´Ù.
[Fab 22¿Í ÀÎÁ¢ÇÑ ¹Ì±¹ ¾Æ¸®Á¶³ª æµé·¯¿¡ À§Ä¡ÇÑ Fab 32]
¾Æ¸®Á¶³ª æµé·¯¿¡ À§Ä¡Çϰí ÀÖ´Â ÀÎÅÚ Fab 22¿¡¼ Æø¹ß»ç°í°¡ ¹ß»ýÇßÀ¸¸ç, À̹ø Æø¹ßÀº ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê¿¡ »ç¿ëµÇ¾ú´ø ¹°ÁúµéÀ» ó¸®ÇÏ´Â Æó ¿ëÇØ¾× ó¸®Àå¿¡¼ ¹ß»ýµÇ¾ú´Ù°í xbitlabs´Â ÀüÇß´Ù.
À̹ø »ç°í·Î 4¸íÀÇ ±Ù·ÎÀÚµéÀÌ º´¿ø¿¡ ½Ç·Á°£ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁö°í ÀÖÀ¸¸ç, Æø¹ßÀÇ ±Ô¸ð´Â Å©Áö ¾ÊÀº °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ® ÀÖ´Ù.
Æó ¿ëÇØ¾× ó¸®ÀåÀº ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê¿¡ »ç¿ëµÈ ¹°ÁúµéÀ» Æó±âÀåÀ¸·Î º¸³»±â Àü ´Ù½Ã ÈÇР󸮸¦ ÁøÇàÇÏ´Â Àå¼Ò·Î ¾Ë·ÁÁ® ÀÖ´Ù. »ç¿ëµÇ´Â ÈÇÐ ¹°ÁúÀº ¿°È¼ö¼Ò (Hydrochloric)¿Í Ȳ»ê (Sulfuric Acid), ¹æºÎÁ¦ ¹× ¼Òµ¶, Ç¥¹éÁ¦·Î »ç¿ëµÇ´Â °ú»êȼö¼Ò (Hydrogen Peroxide), ¼ö»êȾϸ𴽠(Ammonium Hydroxide)¸¦ ºñ·ÔÇÏ¿© ´õ ¸¹Àº ÈÇÐ ¹°ÁúµéÀÌ »ç¿ëµÇ°í ÀÖ´Â °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ® ÀÖ´Ù.
Æø¹ß´ç½Ã ÈÀç °æº¸ ½Ã½ºÅÛÀÌ Á¤»óµ¿ÀÛÇÏ¿© Æø¹ß·Î ÀÎÇÑ ÈÀç´Â Áø¾ÐµÇ¾ú´Ù°í Çϸç, ÀÎÅÚÀº Æø¹ß È®»êÀ¸·Î ÀÎÇÑ »ç°í¸¦ ¹æÁöÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú´Ù°í ¹àÇû´Ù. ÇöÀç Fab 22¿Í Fab 32¿¡ ÀÏÇÏ´ø ±Ù·ÎÀÚµéÀº ´Ù½Ã ¿ø·¡ÀÇ ÀÚ¸®·Î º¹±ÍÇß´Ù°í ÀüÇß´Ù.
ÀÎÅÚÀÌ Fab 22¿¡ ¾î¶°ÇÑ °øÁ¤ ±â¼úÀ» Àû¿ëÇÒÁö È®½ÇÇÏ°Ô ¾Ë·ÁÁ® ÀÖÁö ¾Ê°í ÀÖÀ¸¸ç, Fab 22¿¡¼´Â 200mm ¿þÀÌÆÛ¸¦ Àû¿ëÇÑ 130nm (0.13micron node) ĨÀ» »ý»êÇϰí ÀÖ¾ú´ø °ÍÀ¸·Î ÃßÃøµÈ´Ù°í ÀüÇß´Ù.
ÀÎÅÚÀº À̹ø »ç°í·Î ÀÎÇÑ ÀÎÅÚÀÇ ¼Õ½Ç¿¡ ´ëÇØ¼´Â ¹ßÇ¥ÇÏÁö ¾Ê¾ÒÀ¸³ª ´ë±Ô¸ð Æø¹ßÀÌ ¾Æ´Ñ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ® ÇÇÇØ ±Ô¸ð´Â Å©Áö ¾ÊÀ» °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÇ¸ç, ÇöÀç Æø¹ßÀÇ ¿øÀÎÀº ¹Ì»óÀ¸·Î ÀÎÅÚÀÌ Á¶»ç¸¦ ÁøÇàÁßÀÎ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ® ÀÖ´Ù. |