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ÀÎÅÚ, 450mm ¿þÀÌÆÛ¿Í EUV´Â ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶»ç Àý¹Ý ÀÌ»óÀÇ °æÀï·Â ¾àÈ­ ½Ãų °Í

2012-12-11 12:06
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ÀÎÅÚ Paul Otellini CEO´Â Sanford Bernstein Technology conference¸¦ ÅëÇØ ÀÎÅÚÀº ÇâÈÄ 10³â µ¿¾È 450mm ¿þÀÌÆÛ·ÎÀÇ ÀÌÀü°ú EUV Àüȯ¿¡ ÁýÁßÇÒ °ÍÀ̶ó°í ¹àÇû´Ù.

 

¶ÇÇÑ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ ¿þÀÌÆÛ »çÀÌÁî º¯È­, ±×¸®°í µÎ°¡Áö ±â¼úÀº °ªºñ½Î°í ½ºÄÉÀÏÀÌ Å©±â ¶§¹®¿¡ ±âÁ¸ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶»ç Àý¹Ý ÀÌ»óÀÇ °æÀï·Â ¾àÈ­·Î À̾îÁ® À̵éÀ» ½ÃÀå¿¡¼­ »ç¶óÁö°Ô ¸¸µé °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù°í ÀüÇß´Ù.

 

 

xbitlabs´Â ÀÎÅÚÀÌ 450mm ¿þÀÌÆÛ ÀÌÀü°ú EUV (Extreme Ultraviolet Lithography) ±â¼ú·ÎÀÇ ÀÌÀüÀ» À§ÇØ ¿ÃÇØ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ Àåºñ¿¡¼­ ¼±µÎ ¾÷üÀÎ ASML¿¡ ÅõÀÚ¸¦ ÁøÇàÇß°í ÀÌ¿¡ µû¶ó ÀÌµé µÎ ±â¼úÀÇ °ÅÀÇ ¸ðµç ºÎºÐ Á¦¾î¸¦ ¹ÙÅÁÀ¸·Î 450mm ¿þÀÌÆÛ ÀÌÀü°ú EUV ±â¼ú µµÀÔÀ» ¼º°øÀûÀ¸·Î À̲ø °ÍÀ¸·Î ¿¹»óÇß´Ù.

 

ÀÎÅÚÀº °øÁ¤ È®Àå°ú 450mm ¿þÀÌÆÛ ÀÌÀüÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î ½ÃÀåÀÌ È®ÀåµÇ°í ÀÖ´Â ½º¸¶Æ®Æù°ú ¹Ìµð¾î ÅÂºí¸´ ½ÃÀå¿¡¼­µµ ´ë·® »ý»ê°ú °Å´ë ¿þÀÌÆÛ¸¦ ¹ÙÅÁÀ¸·Î »ý»ê ºñ¿ë Àý°¨À» ÅëÇØ ARMÀ̳ª AMD, TSMC µîÀÇ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶»ç¿ÍÀÇ °æÀï·ÂÀ» °®Ãâ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ̶ó°í ¹àÇû´Ù.

 

ÀÎÅÚÀº ¶ÇÇÑ 450mm ¿þÀÌÆÛ·ÎÀÇ ÀÌÀüÀ» À§ÇØ EUV ±â¼úÀÌ ÇÊ¿äÇϰí ÀÌµé µÎ°¡Áö ±â¼úÀÇ ÀÌÀüÀº ±â¼ú°ú ÀÚº»·Â µîÀÌ ÇÊ¿äÇѵ¥ ¼Ò±Ô¸ð Fabless °³¹ß»çµéÀº À̸¦ °¨´çÇϱâ Èûµé±â ¶§¹®¿¡ °æÀï·Â¿¡ Å« ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¥ °ÍÀ̶ó°í ÀüÇß´Ù.

 

 

ÇÑÆí 450mm ¿þÀÌÆÛ¿Í EUV ±â¼úÀº TSMC¿Í »ï¼ºÀüÀÚ µî¿¡¼­µµ µµÀÔÇÒ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³À¸¸ç ASML¿¡ TSMC´Â ÁöºÐ 5%, »ï¼ºÀüÀÚ´Â 3%, ÀÎÅÚÀº 15%ÀÇ ÁöºÐÀ» ÀμöÇÑ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù. TSMC´Â ÀÌ ±â¼úÀÌ 7nm¿Í 10nm °øÁ¤ Á¦Á¶ÀÇ Áß¿äÇÑ ¿­¼è°¡ µÉ °ÍÀ̶ó°í ¹àÈù ¹Ù ÀÖ´Ù.

 

TSMC´Â 450mm ¿þÀÌÆÛ ¶óÀÎÀÌ 2016³â ¶Ç´Â 2017³â µ¿ÀÛÀ» ½ÃÀÛÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óÇßÀ¸¸ç ·Îµå¸Ê¿¡ µû¶ó »ó¾÷ Ĩ »ý»êÀº 2018³âºÎÅÍ °¡´ÉÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óÇß´Ù. TSMC´Â 10nm FinFETÀº 2016³â, 450mm ±â¹Ý »ó¾÷ ĨÀº 10nm °øÁ¤ ¶Ç´Â 7nm °øÁ¤À» ÀÌ¿ëÇÒ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù.

 

EUV ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ (¸®¼Ò±×·¡ÇÇ´Â ¹Ì¼¼ÇÏ°í º¹ÀâÇÑ ÀüÀÚȸ·Î¸¦ ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ¿¡ ±×·Á ÁýÀûȸ·Î¸¦ ¸¸µå´Â ±â¼ú, EUV ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ (±ØÀڿܼ± ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ)´Â ±âÁ¸ Ĩ °³¹ß¿¡ »ç¿ëµÇ´Â DUV (Deep Ultraviolet) ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ±â¼ú°ú ºñ±³ÇØ 20ºÐÀÇ 1 ¼öÁØÀÇ ÆÄÀå ±¤¼±¸¸À¸·Î °³º° ȸ·Î¸¦ ¹Ì¼¼ÇÑ Å©±â·Î Á¶Á¤ÇÒ ¼ö ÀÖ°í ÀÌ¿¡ µû¶ó ȸ·ÎÀÇ ¼öµµ ´Ã¾î³ª ÇÁ·Î¼¼¼­ÀÇ ¼º´É Çâ»óµµ °¡´ÉÇØÁø´Ù.)

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