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»ï¼ºÀüÀÚ '8³ª³ë ÆÄ¿îµå¸®' °øÁ¤ °³¹ß ¿Ï·á, Â÷¼¼´ë ½º³Àµå·¡°ï ¾ç»ê¿¡ Àû¿ë

2017-10-18 13:06
À̼ö¿ø ¼ö¼®±âÀÚ swlee@bodnara.co.kr

»ï¼ºÀüÀÚ°¡ '8nm ÆÄ¿îµå¸®' °øÁ¤ °³¹ßÀ» ¿Ï·áÇß´Ù.

»ï¼ºÀüÀÚ´Â 18ÀÏ º¸µµÀڷḦ ÅëÇØ 10nm 2¼¼´ë °øÁ¤À» ±â¹ÝÀ¸·Î ÇÑ 8nm ÆÄ¿îµå¸® °øÁ¤ °³¹ßÀ» ¿Ï·áÇÏ¸ç º»°ÝÀûÀÎ ¾ç»ê Áغñ¸¦ ¸¶ÃÆ´Ù°í ¹àÇû´Ù.

»ï¼ºÀüÀÚ´Â ±×°£ ¾ç»êÀ» ÅëÇØ ÃàÀûÇÑ °øÁ¤ ³ëÇϿ츦 ¹ÙÅÁÀ¸·Î 8³ª³ë °øÁ¤ ¼öÀ²µµ ºü¸£°Ô ¾ÈÁ¤È­ ½Ãų °èȹÀ̶ó°í ¹àÇû´Ù. ƯÈ÷ 14nm¿Í 10nm¿¡ À̾î À̹ø 8nm °øÁ¤ °³¹ß ¿ª½Ã Ä÷Äİú Çù·ÂÀ» Áö¼ÓÇϰí ÀÖ´Ù°í ¹àÇô ³»³â¿¡ Ãâ½ÃµÉ Â÷¼¼´ë ½º³Àµå·¡°ï Ç÷¡±×½Ê ÇÁ·Î¼¼¼­ ¿ª½Ã »ï¼ºÀüÀÚ¿¡¼­ »ý»êÇÒ ¿¹Á¤ÀÓÀ» ³»ºñÃÆ´Ù.

8nm ÆÄ¿îµå¸® °øÁ¤(8LPP, Low Power Plus) °øÁ¤Àº »ï¼ºÀüÀÚ ÆÄ¿îµå¸® ·Îµå¸Ê»ó EUV(Extreme Ultra Violet, ±ØÀڿܼ±)°¡ óÀ½ µµÀԵǴ 7nm °øÁ¤ Á÷Àü °øÁ¤¿¡ ÇØ´çµÇ´Âµ¥, 10nm 2¼¼´ë °øÁ¤(10LPP) ´ëºñ Àü·ÂÈ¿À²Àº 10% Çâ»óµÇ°í ¸éÀûÀº 10% Ãà¼ÒµÇ¾î ¸ð¹ÙÀÏ, ³×Æ®¿öÅ©, ¼­¹ö, °¡»óÈ­Æó ä±¼ µî¿¡ ÇÊ¿äÇÑ °í¼º´É ÇÁ·Î¼¼¼­¿¡ ÀûÇÕÇÏ´Ù.

»ï¼ºÀüÀÚ´Â Áö³­ ÇØ 10¿ù ¾÷°è ÃÖÃÊ·Î 10nm 1¼¼´ë °øÁ¤(10LPE) Á¦Ç° ¾ç»êÀ» ½ÃÀÛÇØ ¿ÃÇØ Ãâ½ÃµÈ Ç÷¡±×½Ê ½º¸¶Æ®Æù¿¡ žÀçµÈ ½º³Àµå·¡°ï 835 ¹× ¿¢½Ã³ë½º 8895¿¡ À̸¦ Àû¿ëÇÑ ¹Ù ÀÖ´Ù.

±×·¯³ª EUV Àåºñ µµÀÔÀÌ ´Ê¾îÁö¸é¼­ 10nm °øÁ¤¿¡¼­¸¸ 3¼¼´ë(LPE-LPP-LPU) °øÁ¤ ±â¼úÀ» Àû¿ëÇÏ´Â »ï¼ºÀüÀÚ¿Í ´Þ¸® °æÀï¾÷üµéÀÌ 10nm °øÁ¤À» °Ç³Ê¶Ù°í ¹Ù·Î 7nm °øÁ¤À¸·Î ³Ñ¾î°¥ °èȹÀ» ¼¼¿ìÀÚ ¿ÃÇØ »ó¹Ý±â¿¡ 10nm¿Í 7nm °øÁ¤ ±â¼ú ¿Ü¿¡ 8nm, 6nm, 5nm, 4nm±îÁö °ÅÀÇ ¸ðµç ´Ü°èº° ÆÄ¿îµå¸® °øÁ¤ ±â¼úÀ» ·Îµå¸Ê¿¡ ¿Ã¸®°Ú´Ù´Â °èȹÀ» ¹àÈ÷±âµµ Çß´Ù.

»ï¼ºÀüÀÚ ÆÄ¿îµå¸® ·Îµå¸Ê¿¡ µû¸£¸é 8LPP (8nm Low Power Plus) °øÁ¤Àº EUV(Extreme Ultra Violet) ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ·Î ÀüȯÇϱâ Àü¿¡ °¡Àå °æÀï·Â ÀÖ´Â ½ºÄÉÀϸµ ÀÌÁ¡À» Á¦°øÇϸç, »ï¼ºÀÇ 10nm ±â¼ú ÇÙ½É °øÁ¤ Çõ½ÅÀ» °áÇÕÇØ 10LPP¿¡ ºñÇØ ¼º´É ¹× °ÔÀÌÆ® ¹Ðµµ ¿µ¿ª¿¡¼­ Ãß°¡ÀûÀÎ ÀÌÁ¡À» Á¦°øÇÑ´Ù.

7LPP (7nm Low Power Plus)´Â EUV ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ¼Ö·ç¼ÇÀ» »ç¿ëÇÏ´Â ÃÖÃÊÀÇ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ ±â¼úÀÌ´Ù. ´ë·®»ý»ê¿¡ EUV°¡ »ç¿ëµÉ ¼ö ÀÖ´Â °¡Àå Áß¿äÇÑ ÃÖ´ë 250W EUV ¼Ò½º Àü·ÂÀ» »ï¼ºÀüÀÚ¿Í ASMLÀÌ °øµ¿ °³¹ßÇß´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ´Â EUV ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ¹èÄ¡°¡ ¹«¾îÀÇ ¹ýÄ¢ ½ºÄÉÀϸµ À庮À» ±ú°í ´ÜÀÏ ³ª³ë¹ÌÅÍ ¹ÝµµÃ¼ ±â¼úÀ» À§ÇÑ ±æÀ» ¿­¾îÁÙ °ÍÀ¸·Î ±â´ëÇϰí ÀÖ´Ù.

6LPP (6nm Low Power Plus)´Â EUV ±â¹Ý 7LPP ±â¼ú À§¿¡ »ï¼ºÀüÀÚ °íÀ¯ÀÇ ½º¸¶Æ® ½ºÄÉÀϸµ ¼Ö·ç¼ÇÀ» äÅÃÇØ ¸éÀû È®Àå ¹× ÃÊÀúÀü·Â ÇýÅÃÀ» Á¦°øÇÑ´Ù.

5LPP (5nm Low Power Plus)´Â FinFET ±¸Á¶ÀÇ ¹°¸®ÀûÀÎ ½ºÄÉÀϸµ ÇѰ踦 È®ÀåÇØ ´õ ³ªÀº ½ºÄÉÀϸµ ¹× Àü·Â °¨¼Ò¸¦ Á¦°øÇÏ´Â Â÷¼¼´ë °øÁ¤ÀÎ 4LPP ±â¼ú Çõ½ÅÀ» ±¸ÇöÇϱâ À§ÇÑ °úÁ¤ÀÌ´Ù.

4LPP (4nm Low Power Plus)´Â Â÷¼¼´ë µð¹ÙÀ̽º ¾ÆÅ°ÅØÃ³¿¡ µé¾î°¡´Â MBCFET (Multi Bridge Channel FET) ±¸Á¶¸¦ ù ¹øÂ°·Î ±¸ÇöÇÑ´Ù. MBCFETÀº ±âÁ¸ÀÇ FinFET ¾ÆÅ°ÅØÃ³ÀÇ ¹°¸®ÀûÀÎ ½ºÄÉÀϸµ ¹× ¼º´É Á¦ÇÑÀ» ±Øº¹Çϱâ À§ÇØ ³ª³ë½ÃÆ®(Nanosheet) µð¹ÙÀ̽º¸¦ »ç¿ëÇÏ´Â »ï¼ºÀüÀÚ °íÀ¯ÀÇ GAAFET (Gate All Around FET) ±â¼úÀÌ´Ù.

ÇÑÆí, »ï¼ºÀüÀÚ´Â ¿ÃÇØ ¹Ì±¹, Çѱ¹, ÀϺ»¿¡ À̾î 10¿ù18ÀÏ(ÇöÁö) µ¶ÀÏ ¹ÀÇî¿¡¼­ °³ÃÖÇÏ´Â '»ï¼º ÆÄ¿îµå¸® Æ÷·³'¿¡¼­ ±Û·Î¹ú °í°´°ú ÆÄÆ®³Ê»ç¸¦ ´ë»óÀ¸·Î 8³ª³ë °øÁ¤ °³¹ß ÇöȲÀ» Æ÷ÇÔÇÑ »ï¼ºÀüÀÚÀÇ Ã·´Ü ÆÄ¿îµå¸® °øÁ¤ ·Îµå¸ÊÀ» ¹ßÇ¥ÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.

ÀÌ ±â»çÀÇ ÀÇ°ß º¸±â
³×¿À¸¶Àεå / 17-10-18 15:09/ ½Å°í
¿ª½Ã ±â¼ú·Â
À©µµ¸®Æ®À­ / 17-10-18 17:40/ ½Å°í
»ï¼º À̰͵鵵 ¿ô±â³×..
¾ðÁ¦´Â Ä÷ÄÄÀÌ °©ÁúÇØ¼­ ¿¢½Ã³ë½º ¸ø ÆÈ°Ô ÇÑ´Ù°í ¡¡µÇ¸ç °øÁ¤À§¶û ³î´õ´Ï..
ÆÄ¿îµå¸®»ç¾÷¿¡¼± Ä÷ÄÄ¿¡ ÀÚ»çÀÇ ¿ì¼ö±â¼ú·ÂÀ» Á¦°øÇÒ ¼ö À־ ±â»Ú´Ù°í Çϳ×.. Çæ..
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º¸µå³ª¶ó ¸¹ÀÌ º» ±â»ç

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