quickmenu
PC ´º½º Ȩ  

ASM, ½Å±Ô PE2O8 ½Ç¸®ÄÜ Ä«¹ÙÀ̵å(SiC) ¿¡ÇÇÅýà ½Ã½ºÅÛ Ãâ½Ã

2024-10-31 09:43
ÆíÁýºÎ press@bodnara.co.kr

±Û·Î¹ú ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ±â¾÷ ASMÀÌ »õ·Î¿î µà¾ó è¹ö Ç÷§ÆûÀÎ PE2O8 ½Ç¸®ÄÜ Ä«¹ÙÀÌµå ¿¡ÇÇÅýà ½Ã½ºÅÛ(PE2O8 Silicon Carbide Epitaxy System ÀÌÇÏ, PE2O8 ½Ã½ºÅÛ)À» °ø½Ä Ãâ½ÃÇß´Ù. ÷´Ü SiC Àü·Â ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚ ºÎ¹®À» À§ÇØ ¼³°èµÈ PE2O8Àº ³ôÀº °øÁ¤ ±ÕÀϼº°ú »ý»ê¼º, ³·Àº ¿î¿µºñ¿ë ¹× Á¤¹ÐÇÑ °áÇÔ(defect) °ü¸®°¡ Ư¡ÀÎ ´ëÇ¥ÀûÀÎ ¿¡ÇÇÅýà ½Ã½ºÅÛÀÌ´Ù.

 

Àü±âÂ÷, ģȯ°æ ¿¡³ÊÁö, µ¥ÀÌÅͼ¾ÅÍ µî °íÀü·Â, °íÈ¿À² ±â¼úÀ» ¿äÇÏ´Â »ê¾÷ ½ÃÀåÀÌ ¼¼°èÀûÀ¸·Î ºÎ»óÇÏ¸ç ½Ç¸®ÄÜ Ä«¹ÙÀ̵å(SiC) ¹ÝµµÃ¼°¡ ÇʼöÀûÀÎ ¿ä¼Ò·Î ÀÚ¸® ÀâÀº °¡¿îµ¥, SiC ¼ö¿ä¿Í ºñ¿ë Àý°¨ Çʿ伺ÀÌ Áõ´ëµÇ¾î, »ý»ê·®À» ´Ã¸± ¼ö ÀÖ´Â 8ÀÎÄ¡ SiC ±âÆÇÀ¸·Î ÀüȯÀÌ ÀÌ·ç¾îÁö°í ÀÖ´Ù. ¶ÇÇÑ SiC ¼ÒÀÚ Á¦Á¶ ±â¾÷µéÀº SiC ¿¡ÇÇÅýà ½Ã½ºÅÛÀÇ ÀÌÁ¡À» Ȱ¿ëÇϱâ À§ÇÑ °íÀü·Â ¼ÒÀÚ¸¦ ¼³°èÇϰí ÀÖ´Ù.

ÀÌ·¯ÇÑ È¯°æ¿¡ ¸ÂÃç »õ·Ó°Ô ¼±º¸ÀÎ ASMÀÇ PE2O8 ½Ã½ºÅÛÀº 6ÀÎÄ¡¿Í 8ÀÎÄ¡ ¿þÀÌÆÛ ¸ðµÎ ȣȯ Áö¿øÇÔÀ¸·Î½á, ±âÁ¸ ÀÚ»ç ½Ì±Û ¿þÀÌÆÛ SiC ¿¡ÇÇÅýà ½Ã½ºÅÛ(6ÀÎÄ¡ PE1O6 ¹× 8ÀÎÄ¡ PE1O8) Æ÷Æ®Æú¸®¿À¸¦ ´õ¿í È®ÀåÇÏ¿´´Ù.

µ¶ÀÚÀûÀÎ ¼³°è ¹æ½ÄÀ» ±â¹ÝÀ¸·Î ±¸ÇöµÈ µà¾ó è¹ö PE2O8Àº SiC ÃÊÁ¤¹Ð Á¦¾î ±â¼ú°ú ¿ì¼öÇÑ °øÁ¤ ±ÕÀϼºÀ¸·Î SiC¸¦ ÁõÂøÇØ ¼öÀ² ¹× 󸮷®À» ´Ã·Á »ý»ê¼ºÀ» ´õ¿í Çâ»ó½ÃŰ´Â µ¿½Ã¿¡ ÃÑ ¿î¿µºñ¿ëÀº Àý°¨ÇÑ´Ù. ´õºÒ¾î, ´õ¿í Æí¸®ÇÑ »ç°í ¿¹¹æÀû À¯Áöº¸¼ö ±â´ÉÀ¸·Î °¡µ¿ ½Ã°£Àº ´Ã¸®°í ¿¹»óÄ¡ ¸øÇÑ ½Ã½ºÅÛ Áß´Ü(downtime)Àº ÁÙ¿©ÁØ´Ù. ÇØ´ç Á¦Ç°Àº ÀÌ¹Ì SiC Àü·Â ¼ÒÀÚ Á¦Á¶ ºÎ¹®ÀÇ ¼±µÎ±â¾÷µéÀ» Æ÷ÇÔÇØ Àü ¼¼°è °í°´ ±â¾÷À» ´ë»óÀ¸·Î Á¦°øµÇ°í ÀÖ´Ù.

ÇÑÆí, Àü±âÂ÷ ¼ö¿ä Áõ´ë¿Í ÇÔ²² Àü¹ÝÀûÀÎ SiC ¿þÀÌÆÛ ¹× ¼ÒÀÚ ¼öÀ² Çâ»óÀ¸·Î SiC ¿¡ÇÇÅýà Àåºñ ½ÃÀåÀº ÃÖ±Ù ¼ö³â°£ ´ëÆø ¼ºÀåÇßÀ¸¸ç, ASMÀº 2022³â ÀÌ·¡ ½Å±Ô SiC ¿¡ÇÇÅýà Á¦Ç°À» ÅëÇØ ½Ì±Û ¿þÀÌÆÛ SiC ¿¡ÇÇÅýà ½Ã½ºÅÛÀ» ¹ßÀü½ÃÄÑ ¿Ô´Ù. ASMÄÚ¸®¾Æ´Â ÇöÀç °æ±â È­¼º µ¿Åº¿¡ R&D¼¾ÅÍ ¹× Á¦Á¶°øÀåÀ» º¸À¯Çϰí ÀÖÀ¸¸ç, ÁÖ·Â Á¦Ç°ÀÎ ¿øÀÚÃþ ÁõÂøÀåºñ(ALD), ÇöóÁ¿øÀÚÃþÁõÂø(PEALD) Á¦Ç°À» ºñ·ÔÇØ ¿¡ÇÇÅýÃ(Epitaxy) Á¦Ç°ÀÇ »ý»ê ¹× ¿øÃµ±â¼ú ¿¬±¸¸¦ ÁøÇàÇϰí ÀÖ´Ù.

´Ð³×ÀÓ lock
ºñȸ¿ø

º¸µå³ª¶ó ¸¹ÀÌ º» ´º½º
º¸µå³ª¶ó ¸¹ÀÌ º» ±â»ç

º¸µå³ª¶ó Ãֽбâ»ç
[10/31] HP, ¡®Victus Gaming Laptop 15-fb3084AX¡¯ Ãâ½Ã  
[10/31] 32ÀÎÄ¡ OLED 4K °ÔÀÌ¹Ö ¸ð´ÏÅÍ, GIGABYTE MO32U G¸¶ÄÏ ¡®ºý¼¼ÀÏ ¾ÞÄÝ¡¯ Ưº° ÇÁ·Î¸ð¼Ç ÁøÇà  
[10/31] ÆÛÇ÷¦, ÀÎÅÚ CPU ±â¹Ý ¡®ÆÛÆ÷¸¸Å× ½Ã¸®Á·Î G¸¶ÄÏ ºê·£µåÀ§Å© Âü¿©  
[10/31] ³Ø½¼, ¡®NYPC ÄÚµå¹èƲ : Ä·ÆÛ½º¸®±×¡¯ À̺¥Æ® ÁøÇà  
[10/31] MSI, ÆÄ¿ö ¼ö³ÃÄð·¯ ÄÉÀ̽º ±¸¸ÅÀÚ ´ë»ó ÃÖ´ë 4¸¸¿ø ½ºÆÀÄÚµå ¹× ½ÅÀÛ °ÔÀÓ ¸í¸» °øÇãÀÇ ±êÅÐ °ÔÀÓ ÁõÁ¤  
[10/31] ÇØ¿Ü·Î °¡´Â LG ½ºÅĹÙÀÌ¹Ì 2, À̵¿½Ä ½ºÅ©¸° ½ÃÀå ¸®´õ½Ê È®Àå  
[10/31] ¿ùµå ¿Àºê ¿ö½± X ºí·ç ¾ÆÄ«À̺ê, µÎ ¹øÂ° Äݶ󺸷¹ÀÌ¼Ç µ¹ÀÔ  
[10/31] µðÀÚÀΡ¤±â´É¡¤¾Û±îÁö »õ·Ó°Ô ¹Ù²ï IP Ä«¸Þ¶ó, ipTIME C500G ¹× C400G  
[10/31] ÄÛ½º, ÇÁ¶óÀ̹ö½Ã Ä¿¹ö ÀåÂø Full HD 1080P À¥Ä· CPC1080 Ãâ½Ã  
[10/31] ´õ ½ºÅ¸¶óÀÌÆ®, °³¹ß ºñÇÏÀÎµå ¿µ»ó ÅëÇØ ÁÖ¿ä ½Ã½ºÅÛ °ø°³  
[10/31] ºä¼Ò´Ð, 4K ºöÇÁ·ÎÁ§ÅÍ ½Ã¿¬ ÇÁ·Î¸ð¼Ç ÁøÇà  
[10/31] ¹®Åæ, ½ÅÀÛ Åº¸· ½´ÆÃ °ÔÀÓ ACECRAFT »çÀü¿¹¾à ½ÃÀÛ  
[10/31] ¸¶ÀÌÅ©·Î´Ð½º, WIZMAX ¾ÆÆ®¸®¾È 140mm Äð¸µÆÒ ¾÷±×·¹ÀÌµå  
[10/31] °¡·¹³ª, ÃÊÀÚ¿¬ ¹Ì½ºÅ͸® RPG ½Å¿ùµ¿Çà ÄڹͿùµå ¼­¸Ó 2025 Âü°¡  
[10/31] ¹ÌÇØ°á»ç°ÇºÎ, 4Áֳ⠱â³ä ½Ã¸®Áî À̺¥Æ® ù ¸¸³²ÀÇ »ç¶ûó·³ ½Ç½Ã  
[10/31] 2025 MSI °á°ú, Á¨Áö 2³â ¿¬¼Ó MSI ¿ÕÁ µî±Ø  
[10/31] ¸Æ½ºÆ¿, °ø·© Äð·¯ MAX400 ½Ã¸®Áî 3Á¾ Ãâ½Ã ¿¹Á¤  
[10/31] Çö´ëÀÚµ¿Â÷, ±Â¿ìµå Æä½ºÆ¼¹ú¼­ '¾ÆÀÌ¿À´Ð 6 N' ¼º°øÀû µ¥ºß  
[10/31] À¯´Ï¾¾¾Ø¾¾, »ï¼º °¶·°½ÃºÏ¡¤¿ÃÀοø º£½ºÆ® ¾î¿öÁî LIVE ÁøÇà  
[10/31] SKT, ½ºÅ¸¹÷½º¡¤ÆÄ¸®¹Ù°Ô¶ß¡¤µµ¹Ì³ëÇÇÀÚ ¸±·¹ÀÌ ÇÒÀÎ Á¦°ø  
·Î±×ÀÎ | ÀÌ ÆäÀÌÁöÀÇ PC¹öÀü
Copyright NexGen Research Corp. 2010