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»ï¼ºÀüÀÚ, EUV ±â¹Ý 7nm LPP °øÁ¤ »ý»ê ½ÃÀÛ

2018-10-18 10:32
À̼ö¿ø ¼ö¼®±âÀÚ swlee@bodnara.co.kr

»ï¼ºÀüÀÚ°¡ 7nm(³ª³ë¹ÌÅÍ) EUV °øÁ¤ÀÇ ¾ç»ê¿¡ µé¾î°£´Ù.

»ï¼ºÀüÀÚ´Â 18ÀÏ º¸µµÀڷḦ ÅëÇØ EUV ±â¹ÝÀÇ 7nm LPP (Low Power Plus) °øÁ¤ »ý»êÀ» ½ÃÀÛÇß´Ù°í ¹àÇû´Ù.

»õ·Î¿î 7nm LPP(ÀÌÇÏ 7LPP) °øÁ¤Àº ±ØÀڿܼ±(EUV)À» ÀÌ¿ëÇÑ ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ±â¼úÀ» µµÀÔÇØ 20% ´õ ³ôÀº ¼º´É ¶Ç´Â 50% ´õ ³·Àº Àü·Â ¼Òºñ·Î ¸éÀû È¿À²¼ºÀ» ÃÖ´ë 40%±îÁö Áõ°¡½ÃÄÑ ÈξÀ ÀûÀº ¼öÀÇ ·¹À̾î·Î ´õ ³ªÀº ¼öÀ²À» Á¦°øÇÏ´Â °ÍÀÌ Æ¯Â¡ÀÌ´Ù.

»ï¼ºÀüÀÚ¿¡ µû¸£¸é ±âÁ¸ °øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÈ ArF(Argon Fluoride) ¾×ħ ³ë±¤ ±â¼ú ÆÄÀåÀÌ 193nm·Î °ªºñ½Ñ ¸ÖƼ ÆÐÅÍ´× ¸¶½ºÅ© ¼¼Æ®°¡ ÇÊ¿äÇßÁö¸¸, EUV´Â 13.5nm ÆÄÀåÀÇ ºûÀ» ÀÌ¿ëÇØ ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ¸¦ ³ëÃâ½ÃŰ°Ô µÈ´Ù.

À̸¦ ÅëÇØ ArF ±â¼ú·Î ÃÖ´ë 4°³ÀÇ ¸¶½ºÅ©°¡ ÇÊ¿äÇß´ø ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ¸¦ EUV¸¦ »ç¿ëÇÏ¸é ´ÜÀÏ ¸¶½ºÅ©¸¦ »ç¿ëÇØ µ¿ÀÏÇÑ ·¹À̾ ¸¸µé ¼ö ÀÖ´Ù. °á°úÀûÀ¸·Î 7LPP °øÁ¤Àº EUV ±â¼úÀÌ µé¾î°¡Áö ¾ÊÀº ±âÁ¸ °øÁ¤°ú ºñ±³ÇØ ÃÑ ¸¶½ºÅ© ¼ö¸¦ ¾à 20%±îÁö ÁÙÀÏ ¼ö ÀÖ¾î °í°´ÀÇ ½Ã°£°ú ºñ¿ëÀ» Àý¾àÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.

EUV ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ±â¼úÀº ¶ÇÇÑ ´ÙÁß ÆÐÅÍ´× º¹À⼺À» ÁÙÀÓÀ¸·Î½á ¼³°è »ý»ê¼ºÀ» Çâ»ó½ÃŰ¸é¼­ ¼º´É Çâ»ó°ú ÀúÀü·Â ¹× ¸éÀû Å©±â¸¦ ÁÙ¿©ÁØ´Ù.»ï¼ºÀüÀÚ 7nm LPP ±â¼úÀº ÀÌÀüÀÇ 10nm FinFET°ú ºñ±³ÇÒ ¶§ ·¹ÀÌ¾î ¼ö °¨¼Ò¿Í ¼öÀ² °³¼±À¸·Î °øÁ¤ º¹À⼺À» Å©°Ô ÁÙ¿©ÁÙ »Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó 20% ³ôÀº ¼º´É ¶Ç´Â ÃÖ´ë 50% ³·Àº Àü·Â ¼Òºñ·Î ¸éÀû È¿À²¼ºÀ» ÃÖ´ë 40%±îÁö Çâ»ó½ÃŲ´Ù.

 

»ï¼ºÀüÀÚ´Â 2000³â´ë EUV ¿¬±¸ °³¹ßÀ» ½ÃÀÛÇØ ¾÷°è ÃÖ°íÀÇ EUV ¼³ºñ °ø±Þ ¾÷ü(ASML)¿Í Çù·Â °ü°è¸¦ ÅëÇØ EUV ¿þÀÌÆÛÀÇ ¾ÈÁ¤¼ºÀ» º¸ÀåÇϱâ À§ÇØ Á¦Á¶ ½Ã¼³¿¡ ¿ÏÀüÈ÷ »õ·Î¿î Àåºñ¸¦ µµÀÔÇÔÀ¸·Î½á Ź¿ùÇÑ ÁøÀüÀ» ÀÌ·ç¾úÀ¸¸ç Ãʱâ EUV »ý»êÀº È­¼º¿¡ À§Ä¡ÇÑ »ï¼º S3 Fab¿¡¼­ ½ÃÀÛÇÑ´Ù°í ¹àÇû´Ù.

¶ÇÇÑ Â÷¼¼´ë Ĩ ¼³°è¸¦ À§ÇØ ´ë·® »ý»êÀÌ ÇÊ¿äÇÑ °í°´À» À§ÇØ 2020³â±îÁö »õ·Î¿î EUV ¶óÀÎÀ» ÅëÇØ Ãß°¡ ¿ë·®À» È®º¸ÇÒ °ÍÀ̸ç, EUV ¸¶½ºÅ©¿¡¼­ Á¶±â °áÇÔ Å¾Áö¸¦ ¼öÇàÇÏ´Â °íÀ¯ÇÑ ¸¶½ºÅ© °Ë»ç µµ±¸¿Í °°Àº µ¶Á¡ÀûÀÎ ±â´ÉÀ» °³¹ßÇØ Á¦Á¶ Ãʱ⿡ ±×·¯ÇÑ °áÇÔÀ» Á¦°ÅÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô Çß´Ù°í ¼³¸íÇß´Ù.

±× ¹Û¿¡ »ï¼º °í±Þ ÆÄ¿îµå¸® »ýŰè(Samsung Advanced Foundry Ecosystem, SAFE)¸¦ ÅëÇØ °í°´ÀÌ »õ·Î¿î Ç÷§Æû¿¡¼­ Á¦Ç°À» °³¹ßÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï °í¼º´É ¹× °í¹Ðµµ Ç¥ÁØ ¼¿¿¡¼­ºÎÅÍ HBM2/2e ¸Þ¸ð¸® ÀÎÅÍÆäÀ̽º ¹× 112G SerDes ÀÎÅÍÆäÀ̽º¿¡ À̸£±â±îÁö °í°´ÀÌ 7LPP¿¡¼­ ¼³°è¸¦ ±¸ÇöÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï µµ¿ï °ÍÀ̶ó°í µ¡ºÙ¿´´Ù.

 

ÇÑÆí, »ï¼ºÀüÀÚ°¡ ÀÌ °°ÀÌ 7nm °øÁ¤¿¡¼­ EUV ±â¼ú µµÀÔÀ» °­Á¶ÇÑ °ÍÀº ÆÄ¿îµå¸® °æÀï ¾÷üÀÎ TSMC¸¦ ÀǽÄÇÑ °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ. TSMC´Â ¿ÃÇØ º»°ÝÀûÀÎ 7nm ¾ç»êÀ» ½ÃÀÛÇØ ¿©·¯ ±â¼ú ±â¾÷µéÀÇ Á¦Ç°À» »ý»êÇϰí ÀÖÁö¸¸ EUV ±â¼úÀ» µµÀÔÇÑ °øÁ¤Àº ¾Æ´Ï¾ú´Ù.

±×·¯³ª TSMC ¿ª½Ã ÃÖ±Ù EUV ±â¼úÀ» Àû¿ëÇÑ 2¼¼´ë 7nm ±â¼ú(N7+) Å×ÀÌÇÁ ¾Æ¿ôÀ» ¸¶ÃÆÀ¸¸ç ³»³â »ó¹Ý±â¿¡ 5nm °øÁ¤ ¾ç»ê Áغñ¿¡ µé¾î°¥ ¿¹Á¤À̶ó ÆÄ¿îµå¸® ½ÃÀå¿¡¼­´Â TSMC°¡ ¼±µÎ ÀÚ¸®¸¦ °è¼Ó À¯ÁöÇÒ °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ.

´Ù¸¸ ¶Ç ´Ù¸¥ °æÀï ¾÷üÀÎ ±Û·Î¹ú ÆÄ¿îµå¸®°¡ 7nm °øÁ¤ µµÀÔÀ» ¹«±âÇÑ ¿¬±âÇÑ »óȲÀ̰í, ¾ÆÁ÷ 14nm °øÁ¤¿¡ ¸Ó¹°°í ÀÖ´Â ÀÎÅÚÀ» ºñ·ÔÇØ ¾ÖÇÃ, Ä÷ÄÄ, ¿£ºñµð¾Æ, AMD µî 7nm °øÁ¤À» ¿øÇÏ´Â ±â¼ú ±â¾÷µéÀº °è¼Ó ´Ã°í ÀÖ¾î »ï¼ºÀüÀÚ°¡ ¿¹Á¤´ë·Î 7LPP ¾ç»êÀ» ½ÃÀÛÇϸé ÀÚü ¼ö¿ä ¿Ü¿¡ ÆÄ¿îµå¸® °í°´À» È®º¸Çϴµ¥ ¹®Á¦°¡ ¾øÀ» °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù.


ÀÌ ±â»çÀÇ ÀÇ°ß º¸±â
ÇÁ¸®½ºÆ® rubychan´ÔÀÇ ¹Ìµð¾î·Î±× °¡±â  / 18-10-25 10:24/ ½Å°í
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