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ACM ¸®¼­Ä¡, Áß±¹ °í°´»ç·ÎºÎÅÍ °í¿Â SPM Àåºñ ǰÁú ÀÎÁõ ȹµæ

2025-04-07 13:42
ÆíÁýºÎ press@bodnara.co.kr
¹ÝµµÃ¼ ¹× ÷´Ü ¿þÀÌÆÛ ·¹º§ ÆÐŰ¡(WLP) ¾ÖÇø®ÄÉÀ̼ÇÀ» À§ÇÑ ¿þÀÌÆÛ Ã³¸® ¼Ö·ç¼Ç ¼±µµ ±â¾÷ÀÎ ACM ¸®¼­Ä¡(ACM Research, Inc., NASDAQ: ACMR)´Â ÀÚ»çÀÇ ½Ì±Û ¿þÀÌÆÛ °í¿Â °ú»êȭȲ È¥ÇÕ¹°(Sulfuric Peroxide Mixture, SPM) Àåºñ°¡ Áß±¹ º»ÅäÀÇ ÁÖ¿ä ºñ¸Þ¸ð¸® ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶È¸»ç·ÎºÎÅÍ Ç°Áú Æò°¡¸¦ ¹Þ¾Ò´Ù°í ¹ßÇ¥Çß´Ù. Áö±Ý±îÁö ACMÀº 13°³ °í°´»ç¿¡ ÀÚ»çÀÇ SPM Àåºñ¸¦ °ø±ÞÇß´Ù. ÀÌ ½Ã½ºÅÛÀº ACM °íÀ¯ÀÇ ³ëÁñ ¼³°è°¡ Ư¡À¸·Î, SPM °øÁ¤ Áß¿¡ Ȳ»ê ºÐÁø(acid mist)ÀÇ ºñ»êÀ» ¹æÁöÇÔÀ¸·Î½á, ÀÔÀÚ ¼º´ÉÀ» °³¼±Çϰí è¹ö ¿¹¹æÁ¤ºñ ¼¼Á¤ ºóµµ¸¦ ÁÙÀÌ¸ç ½Ã½ºÅÛ °¡µ¿ ½Ã°£À» Çâ»ó½ÃŲ´Ù. ÀÌ Àåºñ´Â 28³ª³ë¹ÌÅÍ(nm) ÀÌÇÏÀÇ ±â¼ú ³ëµå¿¡¼­ Àü°øÁ¤°ú ÈİøÁ¤ ¸ðµÎ¿¡ ´ëÇÑ ½À½Ä ½Ä°¢ ¹× ¿þÀÌÆÛ ¼¼Á¤À» Áö¿øÇÑ´Ù. 



ACM ¸®¼­Ä¡ÀÇ »çÀå °â CEOÀÎ µ¥À̺ñµå ¿Õ(Dr. David Wang) ¹Ú»ç´Â “½Ì±Û ¿þÀÌÆÛ Áß¿Â/°í¿Â SPM Àåºñ´Â 300mm ¿þÀÌÆÛ ¹ÝµµÃ¼ ¾ç»ê Á¦Á¶¿¡¼­ °í°´ÀÇ °úÁ¦¸¦ ÇØ°áÇϱâ À§ÇÑ ACMÀÇ Çõ½Å ³ë·ÂÀ» Àß º¸¿©ÁØ´Ù. Àü ¼¼°è °í°´Ãþ¿¡¼­ ÀÌ Àåºñ¿¡ Áö´ëÇÑ °ü½ÉÀ» º¸À̰í ÀÖ´Ù"°í ¹àÈ÷°í “Áß¿Â/°í¿Â SPMÀº ƯÈ÷ Â÷¼¼´ë ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽º Á¦Á¶¿¡¼­ ÇÙ½ÉÀûÀÎ ¿ªÇÒÀ» ÇÏ´Â °í¿Â SPMÀ» ÅëÇØ ¿þÀÌÆÛ ¼¼Á¤ Àåºñ ½ÃÀå¿¡¼­ Á¡Á¡ ´õ ºñÁßÀ» ³ô¿©°¡°í ÀÖ´Ù”°í ¸»Çß´Ù.

ACMÀÇ ½Ì±Û ¿þÀÌÆÛ Áß¿Â/°í¿Â SPM Àåºñ´Â ¼·¾¾ 90°CÀÇ ÁßÀú¿Â Ȳ»ê ¼¼Á¤, 170°CÀÇ °í¿Â Ȳ»ê Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¹Ú¸®, 190°CÀÇ Ãʰí¿Â Ȳ»ê ±Ý¼Ó ¸®ÇÁÆ®¿ÀÇÁ µî ´Ù¾çÇÑ ÇÁ·±Æ®¿£µå ¹× ¹é¿£µå ½À½Ä ½Ä°¢ ¹× ¼¼Á¤ °øÁ¤¿¡ ÀûÇÕÇÏ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ ³ëµå°¡ ¹ßÀüÇÔ¿¡ µû¶ó ½Ì±Û ¿þÀÌÆÛ °í¿Â Ȳ»ê 󸮿¡ ´ëÇÑ ¼ö¿ä°¡ Å©°Ô Áõ°¡Çϰí ÀÖ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ Ãß¼¼·Î ÀÎÇØ ÀÔÀÚ Á¦¾î, è¹ö ȯ°æ °ü¸® ¹× Ȳ»ê ¿Âµµ ¾ÈÁ¤¼º¿¡ ´ëÇÑ ¿ä±¸ »çÇ×ÀÌ Á¡Á¡ ´õ ¾ö°ÝÇØÁö°í ÀÖ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ °úÁ¦¿¡ ´ëÀÀÇϱâ À§ÇØ ACMÀº ½Ì±Û ¿þÀÌÆÛ Áß¿Â/°í¿Â SPM Àåºñ¿¡ Çõ½ÅÀûÀÎ ¼³°è¸¦ µµÀÔÇÏ¿© ¾÷°èÀÇ ÁøÈ­ÇÏ´Â ¿ä±¸ »çÇ×À» ÃæÁ·ÇÏ´Â Áï½Ã ¹èÆ÷ °¡´ÉÇÑ ¼Ö·ç¼Ç °ø±Þȸ»ç·Î ÀÚ¸®¸Å±èÇß´Ù. ÀÌ Àåºñ¿¡´Â ´ÙÀ½°ú °°Àº ACMÀÇ µ¶ÀÚÀû ±â¼úµéÀÌ ÅëÇյǾî ÀÖ´Ù:
ÃÖ°í È¥ÇÕ ¿Âµµ°¡ 230¡É¸¦ ³ÑÁö ¾Ê°í ¾ÈÁ¤ÀûÀ¸·Î Á¦¾îµÇ´Â ´Ù´Ü°è °¡¿­ ¹æ½Ä
°í¿Â SPMÀÌ Ã¨¹ö ¿ÜºÎ·Î Æ¢´Â °ÍÀ» ¹æÁöÇÏ´Â SPM ³ëÁñ ¼³°è·Î, 26nm ³ëµå¿¡¼­ Æò±Õ ÀÔÀÚ ¼ö°¡ 10°³ ¹Ì¸¸ÀÎ ¿ì¼öÇÑ ÀÔÀÚ Á¦¾î ¼º´É ´Þ¼º

½Ì±Û ¿þÀÌÆÛ Áß¿Â/°í¿Â SPM Àåºñ¿¡´Â ÀζóÀÎ È­ÇÐÀû È¥ÇÕ ½Ã½ºÅÛ°ú ´Ù¾çÇÑ È­ÇÐ ¿ë¾×À» ¼ö¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±¸¼º °¡´ÉÇÑ °øÁ¤ è¹ö°¡ ÀåÂøµÇ¾î ÀÖ´Ù. ¶ÇÇÑ ÀÌ Àåºñ´Â ACMÀÇ Æ¯Çã ¹ÞÀº SAPS ¹× TEBO ¸Þ°¡¼Ò´Ð ±â¼ú°ú ¿øÈ°ÇÏ°Ô ÅëÇÕÇÔÀ¸·Î½á À¯±â ¿À¿°¹° Á¦°Å ¼º´ÉÀ» °­È­ÇÏ°í ¿þÀÌÆÛ Ç¥¸é Áغñ¸¦ ´õ¿í Çâ»ó½Ãų ¼ö ÀÖ´Ù.

ACM ½Ì±Û ¿þÀÌÆÛ Áß¿Â/°í¿Â SPM Àåºñ ¼Ò°³ 
ACMÀÇ ½Ì±Û ¿þÀÌÆÛ Áß¿Â/°í¿Â SPM Àåºñ´Â ´Ù¾çÇÑ ½À½Ä ½Ä°¢ °øÁ¤°ú ´Ü¸é ¹× ¾ç¸é ¼¼Á¤À» À§ÇØ ¼³°èµÇ¾ú´Ù. ÀÌ Àåºñ´Â ´Ù¾çÇÑ È­ÇÐ ¹°Áú ¹× ¼¼Á¤ °øÁ¤°ú ȣȯµÈ´Ù. Çʸ§ ¼Õ½ÇÀ» ÃÖ¼ÒÈ­Çϸ鼭 À¯±â¹° °áÇÔÀ» È¿°úÀûÀ¸·Î Á¦°ÅÇϱ⠶§¹®¿¡, ´ëºÎºÐÀÇ ¼¼Á¤ ÈÄ ¹× Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ½À½Ä ¹Ú¸® ÈİøÁ¤¿¡¼­ Ź¿ùÇÑ ¼º´ÉÀ» ¹ßÈÖÇÑ´Ù. 150mm ~ 300mmÀÇ ¿þÀÌÆÛ Å©±â¸¦ Áö¿øÇÏ´Â ÀÌ ½Ã½ºÅÛÀº 4°³ÀÇ ·Îµå Æ÷Æ®, 8 ~ 12°³ÀÇ Ã¨¹ö·Î ±¸¼º °¡´ÉÇÑ ¼³Á¤, ´Ù±â´É È­Çй°Áú ºÐ¹è ½Ã½ºÅÛ, ÀÚ°¡ ¼¼Á¤ è¹ö¸¦ °®Ãß°í ÀÖ´Ù.

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º¸µå³ª¶ó ¸¹ÀÌ º» ±â»ç

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