»ï¼ºÀüÀÚ°¡ 14LPU ¹× 10LPU °øÁ¤ ±â¼úÀ» ¹ßÇ¥Çß´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â 3ÀÏ ¹Ì±¹ µð¹ÙÀ̽º ¼Ö·ç¼Ç º»»ç¿¡¼ ¿¸° »ï¼º ÆÄ¿îµå¸® Æ÷·³ Çà»ç¿¡¼ ÆÄ¿îµå¸® °í°´ ¹× ÆÄÆ®³ÊµéÀ» ´ë»óÀ¸·Î ¸ð¹ÙÀÏ ¹× ¼ÒºñÀÚ °¡ÀüºÎÅÍ µ¥ÀÌÅÍ ¼¾ÅÍ¿Í ÀÚµ¿Â÷¿¡ À̸£±â±îÁö Â÷¼¼´ë Á¦Ç°±º¿¡ ÇÊ¿äÇÑ Ã·´Ü ÆÄ¿îµå¸® °øÁ¤ ±â¼ú Á¦°øÀ» 4¼¼´ë 14³ª³ë¹ÌÅÍ(nm) °øÁ¤ ±â¼ú 14LPU ¹× 3¼¼´ë 10nm °øÁ¤ ±â¼ú(10LPU)·Î È®´ëÇß´Ù°í ¹àÇû´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚÀÇ 4¼¼´ë 14nm °øÁ¤ ±â¼úÀÎ 14LPU´Â ±âÁ¸ 3¼¼´ë 14nm °øÁ¤(14LPC)¿¡ ºñÇØ µ¿ÀÏÇÑ Àü·Â ¹× ¼³°è ±ÔÄ¢¿¡¼µµ ´õ ³ôÀº ¼º´ÉÀ» Á¦°øÇØ °í¼º´É ¹× ÄÄÇ»ÆÃ Áý¾àÀûÀÎ ¾ÖÇø®ÄÉÀ̼ǿ¡ ÃÖÀûÈ µÇ¾ú´Ù.
3¼¼´ë 10nm °øÁ¤ ±â¼ú 10LPU´Â ÀÌÀü ¼¼´ë(10LPE/10LPP)¿¡ ºñÇØ Á¦Ç° Å©±â(¸éÀû)À» ÁÙÀÏ ¼ö ÀÖ´Â °¡Àå È¿À²ÀûÀΠ÷´Ü °¡°ø ±â¼ú·Î 2¼¼´ë °øÁ¤(10LPE)¿Í ºñ±³ÇØ Ãß°¡ÀûÀÎ ¼º´É Çâ»óÀ» Á¦°øÇÑ´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ ÆÄ¿îµå¸® ¸¶ÄÉÆÃ ¼ö¼® ºÎ»çÀå Bern Suh´Â "»ï¼ºÀüÀÚ°¡ Áö³ 10¿ù Áß¼ø ¾÷°è ÃÖÃÊ·Î 10nm ¾ç»êÀ» ¹ßÇ¥ÇÑ ÈÄ À̹ø¿¡ »õ·Î¿î ÆÄ¿îµå¸® Á¦Ç° 14LPU ¹× 10LPU·Î Á¦Ç° ¶óÀξ÷À» È®ÀåÇß´Ù"¸ç "»ï¼ºÀüÀÚÀÇ ±â¼úÀÌ Á¦Á¶ °í·Á »çÇ×À¸·Î °ø°ÝÀûÀÎ ÇÁ·Î¼¼¼ ¼³°è ÀÌÁ¡À» Á¦°øÇÒ °ÍÀ¸·Î È®½ÅÇÏ¸ç ½ÃÀå¿¡¼ ¸¹Àº ±àÁ¤ÀûÀÎ ¹ÝÀÀÀ» ¾ò°í ÀÖ°í °í±Þ °øÁ¤ ±â¼ú¿¡¼ »ï¼ºÀüÀÚÀÇ ¸®´õ½Ê È®´ë¸¦ ±â´ëÇÑ´Ù"°í ¹àÇû´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ 14LPU ¹× 10LPU °øÁ¤ ±â¼ú¿¡ ´ëÇÑ ÇÁ·Î¼¼½º µðÀÚÀΠŶ(PDK)´Â 2017³â 2ºÐ±âºÎÅÍ Á¦°øµÉ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
ÇÑÆí, »ï¼ºÀüÀÚ´Â À̳¯ Çà»ç¿¡¼ 7nm EUV °øÁ¤ÀÇ °³¹ß »óŸ¦ ¾÷µ¥ÀÌÆ®Çϰí 7nm EUV ¿þÀÌÆÛµµ ¼±º¸¿´´Ù. |